公开(公告)号：CN104630708B

公开(公告)日：2017-04-12

申请号：CN201510099972.5

申请日：2015-03-06

Applicant: 重庆大学

Inventor： 孙德恩 ,  张文勇 ,  陈美容 ,  黄佳木

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  B32B15/00 ,  B32B9/00

Abstract: 本发明提供了一种类金刚石厚膜，包括：结合层；复合于结合层的过渡层；复合于过渡层的类金刚石膜层；所述类金刚石膜层由sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加而成。本发明通过将sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加，得到类金刚石膜层，其中不涉及到引入外加异质元素，有效避免了异质元素掺杂导致膜层力学性能恶化的难题。并且，本发明通过将sp3键含量不同的类金刚石子膜进行叠加，大大降低了层与层之间的应力，层与层之间结合力较强，不会发生剥离。

公开(公告)号：CN104630708A

公开(公告)日：2015-05-20

申请号：CN201510099972.5

申请日：2015-03-06

Applicant: 重庆大学

Inventor： 孙德恩 ,  张文勇 ,  陈美容 ,  黄佳木

IPC: C23C14/06 ,  C23C14/35 ,  B32B15/00 ,  B32B9/00

Abstract: 本发明提供了一种类金刚石厚膜，包括：结合层；复合于结合层的过渡层；复合于过渡层的类金刚石膜层；所述类金刚石膜层由sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加而成。本发明通过将sp3键含量不同的类金刚石子膜叠加，得到类金刚石膜层，其中不涉及到引入外加异质元素，有效避免了异质元素掺杂导致膜层力学性能恶化的难题。并且，本发明通过将sp3键含量不同的类金刚石子膜进行叠加，大大降低了层与层之间的应力，层与层之间结合力较强，不会发生剥离。