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公开(公告)号：CN105244224A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201510771891.5
申请日：2015-11-12
Applicant: 重庆大学
CPC classification number: H01H35/14 , H01H1/0036
Abstract: 本发明公开一种低g值微机械加速度锁存开关，包括一绝缘衬底，一检测质量块，多个相对于绝缘衬底X轴和Y轴均对称分布的锚点、触头、触头支撑梁、检测质量块支撑梁及过载保护结构。本发明所述微机械开关的动触头采用半球形与楔形复合结构，与侧触头形成线接触，降低运动过程中的能量损失，与感应触头形成面接触，减小接触电阻，提高接触的可靠性；检测质量块、扰性梁、触头以及锚点呈完全轴对称分布，可实现±Y方向的双向锁存；检测质量块支撑梁对称分布于检测质量块的两侧，结构布局更合理，易于实现低g值锁存，且通过调整检测质量块、扰性梁以及各触头之间的间隙，可方便调整闭锁阈值，阈值范围更广。
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公开(公告)号：CN104821745A
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201510289733.6
申请日：2015-05-29
Applicant: 重庆大学
IPC: H02N2/18
Abstract: 本发明公开了一种基于亥姆霍兹效应的低频压电振动能量收集器及其制作工艺，属于可再生资源技术领域。该能量收集器包括：玻璃上盖、玻璃下盖、以及能量转换单元；玻璃上盖和玻璃下盖上下组合形成亥姆霍兹谐振腔，能量转换单元安装在亥姆霍兹谐振腔内；所述玻璃上盖和玻璃下盖的两端开有开口；能量转换单元包括压电悬臂梁、质量块、压电材料以及上下电极；收集器工作时，在亥姆霍兹谐振腔内部形成涡流谐振，使谐振腔内的质量快带动悬臂梁发生形变，在压电效应作用下，产生电势差，从而将其他形式的能量转换成电能。该能量收集器具有频率低、频带宽等特点，可广泛用于与无线传感网络节点、便携式电子产品及微型电子装置等，实现环境振动能向电能的高效转化。
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公开(公告)号：CN102254741A
公开(公告)日：2011-11-23
申请号：CN201110188259.X
申请日：2011-07-06
Applicant: 重庆大学
IPC: H01H35/14
Abstract: 本发明提供了一种微机械加速度开关，涉及微机电系统领域，所述微机械加速度开关包括：绝缘衬底、信号传输线、质量块、折叠梁、触点、锚区和过载保护结构。信号传输线固定在绝缘衬底上，位于质量块上方；锚区固定在绝缘衬底上，位于质量块周围；过载保护结构固定在绝缘衬底上，位于质量块顶角处；折叠梁位于质量块四周，其两端分别与质量块和锚区相连，并与质量块一起被悬空；触点固定在质量块正中，位于两根信号传输线端头的正下方，并与之有间隙。本发明可有效改善开关的接触性能，提高开关的抗冲击性能，结构简单、制作容易，可广泛应用在微机电系统领域。
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公开(公告)号：CN117826035A
公开(公告)日：2024-04-05
申请号：CN202311769824.0
申请日：2023-12-21
Applicant: 重庆大学
IPC: G01R33/032 , G01N21/64
Abstract: 本发明涉及一种一键式实时测量NV色心ODMR谱的电子测量系统，属于测量技术领域。该系统包括激光器、金刚石NV色心、二色镜、光电探测器、微波源模块、TTL调制模块、功率放大器、环形器和同轴负载，以及ADC模块、控制及数据处理模块和PC机。通过各个模块的协同工作，实现了对NV色心荧光信号的实时采集、处理和显示。本发明利用金刚石色心自旋共振谱ESR和塞曼效应，进而检测外部磁场大小；通过控制模块将每次扫描周期和数据读取周期同步起来，从而精准实时显示单次ODMR信号。本发明省去了对各种设备的复杂操作，减少了误操作带来麻烦，使整个实验过程小型化，提高了磁测量效率。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107342345B
公开(公告)日：2019-05-21
申请号：CN201710497580.3
申请日：2017-06-27
Applicant: 重庆大学
IPC: H01L31/113 , H01L31/0224 , H01L31/032 , H01L31/18
CPC classification number: Y02P70/521
Abstract: 本发明属于微纳半导体光电子器件领域，具体涉及一种基于铁电栅介质和薄层MoS2沟道的光电晶体管及其制备方法。该器件包括源极、漏极、沟道、栅极、栅介质、金属焊盘和衬底。源极和漏极为石墨烯，沟道为薄层MoS2，栅介质为PZT铁电薄膜。相比之前同类器件，本发明具有如下优点：1)PZT铁电薄膜大的介电常数提高了栅极对沟道载流子的调控能力；2)PZT铁电薄膜可以利用其剩余极化场强来调控沟道载流子，降低器件功耗；3)PZT铁电薄膜相比有机铁电材料P(VDF‑TrFE)，具有高剩余极化、低矫顽场强、性质稳定且与微电子工艺兼容等优点；4)石墨烯作为源极和漏极，能增强信号光透过率，提高器件光响应度和增益等性能。
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公开(公告)号：CN104401932B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201410794021.5
申请日：2014-12-19
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明公开了一种具有双工器功能的氮化铝压电薄膜器件，由下至上依次包括硅衬底、绝缘层、下电极、第I氮化铝薄膜层、中间电极、第II氮化铝薄膜层和上电极，所述第I氮化铝薄膜层和第II氮化铝薄膜层的C轴与硅衬底(1)倾斜且两者倾斜方向相反；其中硅衬底厚度为300～700um，所述绝缘层为二氧化硅层，其厚度为250-350nm，下电极材质为Mo或Ti/Pt，中间电极材质为Ir或Mo，下电极和中间电极层两者厚度均为120～160nm；所述上电极材质为Al，其厚度为1000～1200nm。本发明创造性的提出了具有双层C轴倾斜AlN压电薄膜层结构，在液相工作环境下，该结构可以大幅提高传感器的灵敏度，实现薄膜体声波器件的双向通信并缩小其体积。
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公开(公告)号：CN104986720A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201510278031.8
申请日：2015-05-27
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS圆片级真空封装结构及方法，所述封装结构包括绝缘衬底、MEMS芯片结构层和盖板，三者通过圆片级键合方式连接成一体，形成真空腔室。本发明在第一键合环中心设计有不完全闭合的第二键合环，同时利用阳极键合与金硅共晶键合、热压键合或粘着键合的键合温度相近的特点，在同一工艺条件下完成两种键合，实现真空封装和金属引线的横向互连。另外，设计的第二键合环略高于第一键合环可保证键合时两键合环都能充分接触，且第二键合环不完全闭合形状设计一方面可以实现金属引线的横向互连，另一方面将真空腔室与外界环境隔开，保证真空腔室的密封性。本发明降低了工艺难度，提高了器件的可靠性和成品率，促进了MEMS圆片级真空封装技术的规模化应用。
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公开(公告)号：CN102931340B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201210459561.9
申请日：2012-11-15
Applicant: 重庆大学
IPC: H01L41/113 , H01L41/277 , H02N2/18
Abstract: 本发明公开了一种宽频带微型压电振动能量收集器及其制作方法，包括固定支架、质量块和悬臂梁阵列；悬臂梁阵列设置有压电层并设置于固定支架上，质量块设置于悬臂梁阵列上；质量块位于固定支架中央；悬臂梁阵列包括多个悬臂梁组，悬臂梁组连接于质量快和固定支架之间，固定支架上设置有上电极和下电极，上电极、下电极分别与悬臂梁组连接，悬臂梁阵列呈对称分布状态。本发明提出的多组不同尺寸的悬臂梁阵列，其固有频率不相同，从而使得所述微型压电振动式能量收集器具有较宽的频带宽度；组内的悬臂梁具有相同的尺寸，具有相同的固有频率，使得所述微型压电振动式能量收集器可根据负载情况实现不同悬臂梁所构成的发电机之间的并联或串联连接结构。
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公开(公告)号：CN102931340A
公开(公告)日：2013-02-13
申请号：CN201210459561.9
申请日：2012-11-15
Applicant: 重庆大学
IPC: H01L41/113 , H01L41/277 , H02N2/18
Abstract: 本发明公开了一种宽频带微型压电振动能量收集器及其制作方法，包括固定支架、质量块和悬臂梁阵列；悬臂梁阵列设置有压电层并设置于固定支架上，质量块设置于悬臂梁阵列上；质量块位于固定支架中央；悬臂梁阵列包括多个悬臂梁组，悬臂梁组连接于质量快和固定支架之间，固定支架上设置有上电极和下电极，上电极、下电极分别与悬臂梁组连接，悬臂梁阵列呈对称分布状态。本发明提出的多组不同尺寸的悬臂梁阵列，其固有频率不相同，从而使得所述微型压电振动式能量收集器具有较宽的频带宽度；组内的悬臂梁具有相同的尺寸，具有相同的固有频率，使得所述微型压电振动式能量收集器可根据负载情况实现不同悬臂梁所构成的发电机之间的并联或串联连接结构。
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