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公开(公告)号：CN101013054A
公开(公告)日：2007-08-08
申请号：CN200710078141.5
申请日：2007-01-25
Applicant: 重庆大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 差动式压电六维力传感器。该传感器包括有以立方体的相对面关系两两相对地安装的四对测力组、压在这四对测力组两侧的预紧垫块和传力架。各测力组均各有重叠于外侧一个测量FX、FY的测力计和重叠于内侧一个测量FZ、MX、MY、MZ的测力测矩计。各测力计内均以中心对称的状态安装有位于同一平面上的八片XO°切型压电晶片，它们的敏感轴均垂直于它们所在平面、且相对测力计中的压电晶片的敏感轴方向相对；各测力测矩计内安装有均分别与同一测力组内各XO°切型压电晶片对齐、平行且在同一平面上的八片YO°切型压电晶片，它们的敏感轴均平行于它们所在平面、且其敏感轴方向各异。本发明无需对输出信号进行解耦运算，工作可靠，测量精度高，抗干扰能力强。
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公开(公告)号：CN1904621A
公开(公告)日：2007-01-31
申请号：CN200610095012.2
申请日：2006-08-04
Applicant: 重庆大学
Abstract: 一种压电式三维加速度传感器。它包括一个隔离基座、罩装在该基座上的带插座的壳体、通过预紧螺栓固定地安装在该壳体内的隔离基座的安装盘上压电元件、绝缘垫片和惯性质量块、以及连接压电元件与插座的信号引线。其中的压电元件是四片X0°切型石英晶片和四片Y0°切型石英晶片，它们分别安装在两块绝缘垫片之间的一个晶片定位架的四角和四边内。与现有的压电式三维加速度相比较，本发明传感器的重量轻、结构简单、易于加工制造；由于采用了差动测量方式的原因，在外力较小时其输出信号强，其灵敏度高，能克服因环境的变化给测量带来的误差。
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公开(公告)号：CN1900724A
公开(公告)日：2007-01-24
申请号：CN200610054418.6
申请日：2006-07-06
Applicant: 重庆大学
Abstract: 一种差动式压电二维加速度传感器。该传感器包括绝缘的立方体惯性质量块、贴合在该惯性质量块四壁上的带有电极的四片XO0切型的石英晶片、以及安装该惯性质量块和石英晶片在其内的由箱体和箱盖组成的基座。每片石英晶片的外侧均贴合有各一片绝缘的传力块，基座的四壁上均有顶着各一块传力块的预紧螺钉。该基座的箱盖上有一端通过信号引线与电极联接、另一端与差动式电荷放大器联接的联接插头。本发明的传感器重量轻、结构简单、易于加工制造；在外力较小时输出信号依然较强，其灵敏度高，能克服因环境的变化给测量带来的误差。
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公开(公告)号：CN100565213C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200810069839.5
申请日：2008-06-17
Applicant: 重庆大学
IPC: G01P15/18
Abstract: 一种压电式六维加速度传感器。该传感器包括带安装盘的基座，带插座的壳体，固定地安装在该壳体内的基座安装盘之上的测力计、绝缘电极板和惯性质量块，以及连接绝缘电极板与插座的信号引线。本发明的测力计由均匀布置在一个参考圆圆周上的十六片石英晶片构成。包括有对称布置的四片X0°切型石英晶片和十二片Y0°切型石英晶片。其中，间隔布置的Y0°切型石英晶片并连形成一路输出信号，余下的对称布置的Y0°切型石英晶片连接形成两路输出信号，四片X0°切型石英晶片各形成一路输出信号。本发明具有结构简单、易于小型化和微型化、制造成本低、无需解耦运算的优点，是动态特性好的直接输出型的六维加速度传感器。
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公开(公告)号：CN100565146C
公开(公告)日：2009-12-02
申请号：CN200810069720.8
申请日：2008-05-22
Applicant: 重庆大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明属于压电传感器技术领域，涉及一种平板式压电六维力传感器，它是将十六个压电单元晶组组装在以基座和盖子形成的腔体中，并引出电极，通过导线连接到插座，形成传感器。这十六个压电单元晶组均匀分布在基座内的压电单元晶组安装平台的同一圆周上，四个采用X0°切型石英晶片构成的压电单元晶组分布于圆周的45°、135°、225°和315°的位置上，十二个采用Y0°切型石英晶片构成的压电单元晶组均匀分布在圆周的其余位置，共形成七个压电晶组，获得七路输出信号。本六维力传感器具有结构简单、无需弹性体、动态特性好、易于小型化和微型化、制造成本低、刚度好等优点，不存在维间耦合，无需解耦运算，属直接输出型六维力传感器。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100489475C
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：CN200710078684.7
申请日：2007-07-03
Applicant: 重庆大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明请求保护一种压电式六维力传感器，包括传感器基座、盖子和通过传力预紧架固定于基座内的两个工作平面相对的压电四维测力计。以传感器的安装平面建立右手笛卡儿坐标系，测力计的Y0°和X0°切型压电石英晶片的安装位置满足：晶片均为偶数片，均匀分布在两个同心圆上，X0°切型压电石英晶片的敏感轴方向相同且平行于Y轴；在过每个测力计中心的水平方向和垂直方向上分别布置两片敏感轴方向相同且分别平行于X轴和Z轴的Y0°切型压电石英晶片，余下晶片的敏感轴沿所在圆周的切线方向布置，且其敏感轴方向沿同一时针方向布置。本传感器具有结构简单紧凑，体积小，不存在极间干扰，无需对传感器的输出信号进行解耦运算就可以得到输出结果等优点。
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公开(公告)号：CN101285723A
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200810069720.8
申请日：2008-05-22
Applicant: 重庆大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明属于压电传感器技术领域，涉及一种平板式压电六维力传感器，它是将十六个压电单元晶组组装在以基座和盖子形成的腔体中，并引出电极，通过导线连接到插座，形成传感器。这十六个压电单元晶组均匀分布在基座内的压电单元晶组安装平台的同一圆周上，四个采用X0°切型石英晶片构成的压电单元晶组分布于圆周的45°、135°、225°和315°的位置上，十二个采用Y0°切型石英晶片构成的压电单元晶组均匀分布在圆周的其余位置，共形成七个压电晶组，获得七路输出信号。本六维力传感器具有结构简单、无需弹性体、动态特性好、易于小型化和微型化、制造成本低、刚度好等优点，不存在维间耦合，无需解耦运算，属直接输出型六维力传感器。
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公开(公告)号：CN101078660A
公开(公告)日：2007-11-28
申请号：CN200710078684.7
申请日：2007-07-03
Applicant: 重庆大学
IPC: G01L1/16
Abstract: 本发明请求保护一种压电式六维力传感器，包括传感器基座、盖子和通过传力预紧架固定于基座内的两个工作平面相对的压电四维测力计。以传感器的安装平面建立右手笛卡儿坐标系，测力计的Y00和X00切型压电石英晶片的安装位置满足：晶片均为偶数片，均匀分布在两个同心圆上，X00切型压电石英晶片的敏感轴方向相同且平行于Y轴；在过每个测力计中心的水平方向和垂直方向上分别布置两片敏感轴方向相同且分别平行于X轴和Z轴的Y00切型压电石英晶片，余下晶片的敏感轴沿所在圆周的切线方向布置，且其敏感轴方向沿同一时针方向布置。本传感器具有结构简单紧凑，体积小，不存在极间干扰，无需对传感器的输出信号进行解耦运算就可以得到输出结果等优点。
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公开(公告)号：CN104677543A
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201510046135.6
申请日：2015-01-29
Applicant: 重庆大学
Abstract: 本发明公开了一种采用6组测力敏感单元的压电式六维力/力矩传感器，其属于多维力/力矩测量装置。包括带安装盘和输出电极插座的基座，六组被上下两片绝缘电极板夹住由两种切型压电石英晶片构成的交替均匀分布于该基座安装盘上的测力敏感单元，上盖，内侧密封套筒，信号引出线和绝缘填充材料；其中第一片测力敏感单元偏离X轴一个角度α；在绝缘电极板内侧有对应于石英晶片的成对电极，每对电极均由信号引出线与基座上的输出电极插座连接。本发明具有结构简单紧凑、无冗余敏感单元、刚度大、动态性能好、易于微小型化、制造成本低、对传感器输出信号调理电路需求少的优点，可用于智能机器人、自动化检测、航空航天、机械加工等多个领域。
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公开(公告)号：CN102520210A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110446684.4
申请日：2011-12-28
Applicant: 重庆大学
IPC: G01P15/18
Abstract: 一种压电式六维加速度传感器，该传感器包括带安装盘的基座，罩装在该基座上的带插座的壳体，在该壳体内通过预紧螺栓固定地安装在基座安装盘之上的测力计，夹住该测力计两片绝缘电极板和位于最上面的惯性质量块。其中，测力计由八片石英晶片构成，它们在传感器的工作三维直角坐标系的X、Y平面之内均匀布置于一个Z轴通过其圆心的参考圆的圆周上；在两片绝缘电极板内侧，有对应于各石英晶片的成对电极，每对电极均通过信号引线与壳体上的插座连接。本发明除保持了现有技术所具备的优点之外，还简化了结构、降低了加工工艺要求，制造成本大幅度降低，尤其适用于MEMS工艺加工而得到微型化了的可靠性更高的传感器。
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