基于二氧化钒相变特性的隐身薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN116219397B

    公开(公告)日:2025-01-28

    申请号:CN202211620985.9

    申请日:2022-12-16

    Abstract: 本申请公开了一种基于二氧化钒相变特性的隐身薄膜及其制备方法,旨在解决现有隐身薄膜吸收光谱范围窄、调控困难、环境自适应能力差及与结合性能差的技术问题。本申请是以VO(OC3H7)3,和去离子水作为前驱体,沉积氧化钒;放入退火炉中退火得二氧化钒纳米颗粒;将沉积有二氧化钒纳米颗粒的基底材料放入原子层沉积腔体中,沉积介质层;随后沉积上层氧化钒薄膜,最终制备得一系列结构参数可调的“VO2纳米颗粒/介质层/VO2薄膜”动态MIM三元结构智能隐身薄膜。本发明制备条件可控,隐身光谱范围具有灵活的调控性,可实现对基底材料的全包覆效果,避免了涂敷法与基底材料黏合性较差的问题,隐身性能可逆,在生活及国防智能隐身领域有着广阔的应用前景。

    可调波段及频域的智能减反结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN117199150A

    公开(公告)日:2023-12-08

    申请号:CN202310940551.5

    申请日:2023-07-28

    Abstract: 本申请公开了一种可调波段及频域的智能减反结构及其制备方法,旨在解决现有减反结构复杂,适用光谱范围窄、调控困难,结合性及自适应性能差的问题。本申请以阵列SiO2作为基底,利用原子层沉积法沉积氧化钒薄膜,并通过后退火工艺获得VO2@阵列SiO2结构;氧化钒薄膜厚度通过改变原子层沉积循环数精确控制,获得一系列可调波段及频域的VO2@阵列SiO2智能减反结构。本申请制备条件简单,适用光谱范围广,可操控性强,其成品在减反与全反模式之间智能切换:室温减反模式下减少光学反射损失,提升光伏器件效率;高温全反模式下保护光伏器件,提升光伏器件使用寿命,在清洁能源太阳能等的利用领域具有广泛应用前景。

    基于二氧化钒相变特性的隐身薄膜及其制备方法

    公开(公告)号:CN116219397A

    公开(公告)日:2023-06-06

    申请号:CN202211620985.9

    申请日:2022-12-16

    Abstract: 本申请公开了一种基于二氧化钒相变特性的隐身薄膜及其制备方法,旨在解决现有隐身薄膜吸收光谱范围窄、调控困难、环境自适应能力差及与结合性能差的技术问题。本申请是以VO(OC3H7)3,和去离子水作为前驱体,沉积氧化钒;放入退火炉中退火得二氧化钒纳米颗粒;将沉积有二氧化钒纳米颗粒的基底材料放入原子层沉积腔体中,沉积介质层;随后沉积上层氧化钒薄膜,最终制备得一系列结构参数可调的“VO2纳米颗粒/介质层/VO2薄膜”动态MIM三元结构智能隐身薄膜。本发明制备条件可控,隐身光谱范围具有灵活的调控性,可实现对基底材料的全包覆效果,避免了涂敷法与基底材料黏合性较差的问题,隐身性能可逆,在生活及国防智能隐身领域有着广阔的应用前景。

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