公开(公告)号：CN102965666A

公开(公告)日：2013-03-13

申请号：CN201210489917.3

申请日：2012-11-27

Applicant: 郑州大学

Inventor： 史新伟 ,  李杏瑞 ,  王晓霞 ,  姚宁 ,  张兵林 ,  周秋霞 ,  靳慧智

IPC: C23C28/00 ,  C23C14/35 ,  C23C14/16 ,  C23C16/44 ,  C23C16/27 ,  C23C16/56

Abstract: 本发明涉及一种柔性衬底纳米金刚石薄膜及其制备方法。包括金属柔性衬底层、Ni过渡层、金刚石薄膜层和纳米金刚石薄膜层。本发明采用Ni做过渡层，使用MPCVD法制备金刚石薄膜和纳米金刚石薄膜，提高了附着力，并通过调整以下关键工艺步骤进一步提高了膜基附着力：①对Ni过渡层进行氢处理，增强过渡层Ni与衬底的结合力及刻蚀掉多余的Ni；②高甲烷浓度下沉积金刚石薄膜，提高随后纳米金刚石薄膜的形核率；③低甲烷浓度并通入Ar气条件下沉积纳米金刚石薄膜；④保温及退火过程。本发明产品表面粗糙度小，表面光滑平，可替代抛光粉，有效改善现有抛光工艺的不足，拓展了应用范围，其制备方法简便、易实现，具有较强的可操控性及通用性。

公开(公告)号：CN102965666B

公开(公告)日：2014-10-01

申请号：CN201210489917.3

申请日：2012-11-27

Applicant: 郑州大学

Inventor： 史新伟 ,  李杏瑞 ,  王晓霞 ,  姚宁 ,  张兵林 ,  周秋霞 ,  靳慧智

IPC: C23C28/00 ,  C23C14/35 ,  C23C14/16 ,  C23C16/44 ,  C23C16/27 ,  C23C16/56

Abstract: 本发明涉及一种柔性衬底纳米金刚石薄膜及其制备方法。包括金属柔性衬底层、Ni过渡层、金刚石薄膜层和纳米金刚石薄膜层。本发明采用Ni做过渡层，使用MPCVD法制备金刚石薄膜和纳米金刚石薄膜，提高了附着力，并通过调整以下关键工艺步骤进一步提高了膜基附着力：①对Ni过渡层进行氢处理，增强过渡层Ni与衬底的结合力及刻蚀掉多余的Ni；②高甲烷浓度下沉积金刚石薄膜，提高随后纳米金刚石薄膜的形核率；③低甲烷浓度并通入Ar气条件下沉积纳米金刚石薄膜；④保温及退火过程。本发明产品表面粗糙度小，表面光滑平，可替代抛光粉，有效改善现有抛光工艺的不足，拓展了应用范围，其制备方法简便、易实现，具有较强的可操控性及通用性。