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公开(公告)号：CN112831751A
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN202110151997.0
申请日：2021-02-04
Applicant: 郑州大学
Abstract: 本发明提供了一种高温自转变非晶/纳米晶高熵氧化物薄膜、制备方法及应用，步骤如下：（1）将锆基多元素靶材切割组合成溅射靶材A，将Al基多元素靶材切割组成溅射靶材B，将溅射靶材A与直流电源相连，溅射靶材B与射频电源相连，预溅射后采用共溅射的方法沉积高熵金属玻璃薄膜；（2）将得到的高熵金属玻璃薄膜置于马弗炉中，煅烧得到非晶/纳米晶高熵氧化物薄膜。本发明制备的高熵薄膜在高温下逐渐实现原位转变，形成均匀致密的高熵氧化物，避免了裂纹的产生和涂层失效。高的混合熵增强了元素间的互溶性，抑制了单独化合物的形成。同时由于高的界面能和结晶过程中原子扩散的动力学障碍（缓慢动力学），非晶/纳米晶体系会稳定存在。
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公开(公告)号：CN112831751B
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202110151997.0
申请日：2021-02-04
Applicant: 郑州大学
Abstract: 本发明提供了一种高温自转变非晶/纳米晶高熵氧化物薄膜、制备方法及应用，步骤如下：（1）将锆基多元素靶材切割组合成溅射靶材A，将Al基多元素靶材切割组成溅射靶材B，将溅射靶材A与直流电源相连，溅射靶材B与射频电源相连，预溅射后采用共溅射的方法沉积高熵金属玻璃薄膜；（2）将得到的高熵金属玻璃薄膜置于马弗炉中，煅烧得到非晶/纳米晶高熵氧化物薄膜。本发明制备的高熵薄膜在高温下逐渐实现原位转变，形成均匀致密的高熵氧化物，避免了裂纹的产生和涂层失效。高的混合熵增强了元素间的互溶性，抑制了单独化合物的形成。同时由于高的界面能和结晶过程中原子扩散的动力学障碍（缓慢动力学），非晶/纳米晶体系会稳定存在。
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公开(公告)号：CN112813399B
公开(公告)日：2022-12-27
申请号：CN202110151820.0
申请日：2021-02-04
Applicant: 郑州大学
Abstract: 本发明提供了一种高熵金属玻璃防护涂层及制备方法，将锆基多元素靶材切割组成溅射靶材，铝单独作为一个溅射靶材，将单晶硅分别贴在溅射靶材和铝靶材上，通过控制不同靶材的暴露面积，进行高熵合金涂层成分的精细调控。涂层制备使用高真空单室三靶磁控溅射系统，该技术制备的涂层成分均匀、结构致密、膜基结合力好。此外，本发明制备的Zr‑Fe‑Nb‑Cr‑Al‑Si‑Mo‑Ti‑Ta（五种或六种组元混合）高熵金属玻璃防护涂层具有优异的抗氧化性及良好的耐腐蚀性能，可应用于反应堆元件的包壳材料及其他燃料组件结构部件，提高使用寿命。
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公开(公告)号：CN112813399A
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN202110151820.0
申请日：2021-02-04
Applicant: 郑州大学
Abstract: 本发明提供了一种高熵金属玻璃防护涂层及制备方法，将锆基多元素靶材切割组成溅射靶材，铝单独作为一个溅射靶材，将单晶硅分别贴在溅射靶材和铝靶材上，通过控制不同靶材的暴露面积，进行高熵合金涂层成分的精细调控。涂层制备使用高真空单室三靶磁控溅射系统，该技术制备的涂层成分均匀、结构致密、膜基结合力好。此外，本发明制备的Zr‑Fe‑Nb‑Cr‑Al‑Si‑Mo‑Ti‑Ta（五种或六种组元混合）高熵金属玻璃防护涂层具有优异的抗氧化性及良好的耐腐蚀性能，可应用于反应堆元件的包壳材料及其他燃料组件结构部件，提高使用寿命。
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