用于刻划多层面板的方法和系统

    公开(公告)号:CN102447007A

    公开(公告)日:2012-05-09

    申请号:CN201110309925.0

    申请日:2011-09-28

    CPC classification number: B23K26/032 B23K2103/50 H01L31/0463 Y02E10/50

    Abstract: 本发明名称为“用于刻划多层面板的方法和系统”。本发明提供一种刻划多层面板的方法。该方法包括(a)提供包括衬底层、布置在其上的透明传导层、布置在透明传导层上的第一半导体层的多层面板;(b)相对于激光加工装置来配置多层面板,加工装置包括激光头和光传感器;(c)引导激光头相对于多层面板的运动,使得激光束沿跨面板的横越线而接触面板,入射在面板上的激光束具有烧蚀激光束照射的区域内多层面板的一个或多个层的足够能量以提供刻划的面板;(d)同时用第一光源来照射刻划的面板;以及(e)在光传感器实时地检测从刻划的面板显现的光。还提供了一种用于刻划多层面板的系统。

    便携式隔室激光成形

    公开(公告)号:CN1754647A

    公开(公告)日:2006-04-05

    申请号:CN200510088165.X

    申请日:2005-07-29

    CPC classification number: B21D7/00

    Abstract: 一种激光成形设备(10)包括运动系统(14)。安装固定件(22)固定在运动系统上以便支承工件(12)。隔室(24)固定在固定件上以便包围工件。气体供应装置(36)与隔室(24)流体连通以便在压力下在其中引入惰性气体以便填充隔室。激光器(26)与隔室(24)对准以便在便携式隔室(24)内将激光束(28)投射到工件(12)。

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