具有改进的关态电压控制的MEMS开关

    公开(公告)号:CN101465242B

    公开(公告)日:2016-12-14

    申请号:CN200810185380.5

    申请日:2008-12-22

    Abstract: 本发明涉及具有改进的关态电压控制的MEMS开关。提供了一种MEMS开关(20,30,40),其包括衬底(28)、耦合到该衬底(28)并且具有第一侧部和第二侧部的可动执行器(22,32,132)、第一固定电极(24)和第二固定电极(27,37,47),该第一固定电极(24)耦合到该衬底(28)并且定位在该可动执行器(22,32,132)的第一侧部上以产生第一驱动力来将该可动执行器(22,32,132)拉向导电状态,该第二固定电极(27,37,47)耦合到该衬底(28)并且定位在该可动执行器(22,32,132)的第二侧部上以产生第二驱动力来将该可动执行器(22,32,132)拉向非导通状态。

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