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公开(公告)号：CN101150038A
公开(公告)日：2008-03-26
申请号：CN200610064726.7
申请日：2006-11-30
Applicant: 通用电气公司
IPC: H01L21/00 , H01L21/67 , H01L21/683
Abstract: 一种用于调节加热对象温度并支撑加热对象的组件，加热对象例如是半导体基板或者金属/陶瓷模件或者需要温度调节例如排气或者退火的其它工艺。在一个实施例中，该组件包含用于支撑加热对象的加热对象支撑体；用于将对象加热至至少300℃温度的陶瓷加热元件；设置在该基板支撑体和陶瓷加热层之间的第一导热层；设置在该陶瓷加热层下面的第二层。加热组件中的第一层和第二层具有小于5GPa的弹性模量，用于偏压陶瓷加热层而不会引起对于陶瓷层的破坏，同时还能给基板提供均匀和优良的加热。
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