公开(公告)号：CN101018428A

公开(公告)日：2007-08-15

申请号：CN200710005121.5

申请日：2007-02-09

Applicant: 通用电气公司

Inventor： 田维诚 ,  L·S·史密斯 ,  C·-Y·魏 ,  R·G·沃德尼基 ,  R·A·费希尔 ,  D·M·米尔斯 ,  S·C·楚 ,  H·-J·关

IPC: H04R19/01 ,  H04R31/00 ,  A61B8/00

CPC classification number: B06B1/0292 ,  A61B2562/028 ,  Y10T29/49005

Abstract: 提供了一种制造电容微机械超声换能器单元的方法。所述方法包括提供载体衬底(10)，其中所述载体衬底(10)包括玻璃。提供玻璃衬底的步骤可以包括在所述玻璃衬底内形成通孔(171)。此外，所述方法还包括提供隔膜(14)，使得所述载体衬底(10)或所述隔膜(14)的至少其中之一包括支柱(12)，其中将所述支柱(12)配置用以限定腔深度。所述方法还包括利用所述支柱将所述隔膜接合至所述载体衬底，其中所述载体衬底、所述隔膜和所述支柱(12)限定声腔。