公开(公告)号：CN1958836A

公开(公告)日：2007-05-09

申请号：CN200510138046.0

申请日：2005-11-30

Applicant: 通用电气公司

Inventor： D·M·小鲁斯基诺 ,  A·萨恩 ,  G·扎亚斯

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/56 ,  C04B35/00

CPC classification number: C23C14/243 ,  F27D5/0068

Abstract: 一种用于蒸发金属的耐火容器，它具有改进的使用寿命和抗腐蚀特性，所述容器的蒸发表面具有多个形成在底部表面的凹槽。所述凹槽深度至少为1.2毫米、宽度至少为1.75毫米，或者相邻凹槽(或相邻凹槽的中心)之间的间距至少为2.2毫米，或者具有其组合。

公开(公告)号：CN101154555A

公开(公告)日：2008-04-02

申请号：CN200610064415.0

申请日：2006-12-08

Applicant: 通用电气公司

Inventor： J·玛丽娜 ,  A·萨恩 ,  T·埃巴塔 ,  M·谢普肯斯 ,  刘翔 ,  W·范

IPC: H01L21/00 ,  H01L21/683 ,  C03B11/12

Abstract: 提供了一种用于调节/控制衬底表面温度的加热装置。至少一个热解石墨(TPG)层嵌入加热器，以扩散加热装置中不同部件的温度差并且提供衬底表面温度的时间空间上的控制，从而实现衬底上最高和最低温度点之间的差值低于10℃的相对均匀的衬底温度。

公开(公告)号：CN1856590A

公开(公告)日：2006-11-01

申请号：CN200480027565.3

申请日：2004-09-24

Applicant: 通用电气公司

Inventor： D·M·小鲁辛科 ,  A·萨恩

IPC: C23C14/24 ,  C04B35/583 ,  C04B35/58

CPC classification number: C04B35/58 ,  C04B35/58064 ,  C04B35/583 ,  C04B35/645 ,  C04B2235/3206 ,  C04B2235/3208 ,  C04B2235/3217 ,  C04B2235/3222 ,  C04B2235/3224 ,  C04B2235/3225 ,  C04B2235/3232 ,  C04B2235/3244 ,  C04B2235/3813 ,  C04B2235/3817 ,  C04B2235/3852 ,  C04B2235/386 ,  C04B2235/3865 ,  C04B2235/3873 ,  C04B2235/404 ,  C04B2235/5409 ,  C04B2235/5436 ,  C04B2235/77 ,  C04B2235/80 ,  C04B2235/96 ,  C04B2235/9676

Abstract: 一种用于蒸发金属的耐火容器，具有显著提高的使用寿命和抗腐蚀性能，所述容器主要由耐火硼化物、氮化硼和约0.10－10重量％的选自氧化物、碳化物、氮化物和其混合物的稀土金属化合物构成。