包括光离子化检测器的泄漏检测系统

    公开(公告)号:CN118549049A

    公开(公告)日:2024-08-27

    申请号:CN202311113496.9

    申请日:2023-08-31

    Inventor: R·戈什

    Abstract: 本发明公开了一种泄漏检测系统,其包括腔室支撑件,该腔室支撑件包括由框架支撑的腔室。痕量气体供应源将痕量气体混合物供应至限定在腔室与测试部件之间的第一体积。测试部件支撑件包括适配器,该适配器由框架支撑并且被配置为与测试部件配合并在测试部件和适配器之间限定第二体积。密封板围绕适配器并与腔室进行密封。一个或多个入口与第二体积流体连通。N个出口与第二体积流体连通。N个风扇在第二体积中产生第二真空压力,将气体供应到一个或多个入口并且从N个出口中的相应一个出口接收气体。N个气体传感器感测从N个出口中的相应一个出口接收的气体中的痕量气体。

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