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公开(公告)号：CN204573571U
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201520181623.3
申请日：2015-03-27
Applicant: 辽宁科技大学
Abstract: 本实用新型公开了一种激光管充气装置，能够高效、稳定可靠的为激光管充气。该装置包括：触摸屏、PLC控制装置、手动充气开关、手动抽气开关、自动换气开关、充气气瓶、减压阀、充气阀、真空测量装置、充气管路、抽气阀、真空系统、前级泵、薄膜真空计、电离规、热偶规、低真空电磁阀、高真空电磁阀、管道阀和分子泵。本实用新型结构简单、构件少，操作方便；设置PLC控制装置，可实现自动充气的功能，充气快速；通过设置多个连接接头，可以实现同时对多个激光管装置同时进行充气。
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