公开(公告)号：CN112352152A

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN201980041505.3

申请日：2019-04-24

Applicant: 费加罗技研株式会社

Inventor： 佐井正和 ,  井泽邦之 ,  河口智博

IPC: G01N27/12

Abstract: 使用在设于基板的空腔的绝缘膜上设有金属氧化物半导体和加热器的MEMS气体传感器。通过由驱动电路以规定的周期且以规定的脉冲宽度使加热器动作，将金属氧化物半导体加热。如果由湿度的检测机构检测到气体环境是高湿度，则驱动电路使加热器的动作停止或将周期延长。

公开(公告)号：CN112345597A

公开(公告)日：2021-02-09

申请号：CN202010787701.X

申请日：2020-08-07

Applicant: 费加罗技研株式会社

Inventor： 豊田雅史 ,  前岛邦彦 ,  河口智博 ,  石本龙也

IPC: G01N27/12

Abstract: 提供具备多个气体传感器的气体检测装置和气体检测方法。使用多个气体传感器，通过附带电路使其动作。附带电路进行如下处理：将动作时间计时，存储空气中的电阻值与环境气体中的电阻值的比的初始值；对空气中的电阻值进行学习，当金属氧化物半导体的电阻值变得比学习到的空气中的电阻值与比的初始值的商低时，检测到气体；当使最初的气体传感器动作了规定时间时，使下个气体传感器和最初的气体传感器在学习期间中一起动作，由最初的气体传感器继续进行检测，对下个气体传感器中的空气中的电阻值进行学习，如果学习期间结束，则由下个气体传感器进行检测。使气体检测装置的寿命提高，并且在气体传感器的切换时维持检测的可靠性。

公开(公告)号：CN112352152B

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN201980041505.3

申请日：2019-04-24

Applicant: 费加罗技研株式会社

Inventor： 佐井正和 ,  井泽邦之 ,  河口智博

IPC: G01N27/12

Abstract: 使用在设于基板的空腔的绝缘膜上设有金属氧化物半导体和加热器的MEMS气体传感器。通过由驱动电路以规定的周期且以规定的脉冲宽度使加热器动作，将金属氧化物半导体加热。如果由湿度的检测机构检测到气体环境是高湿度，则驱动电路使加热器的动作停止或将周期延长。

公开(公告)号：CN112345597B

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202010787701.X

申请日：2020-08-07

Applicant: 费加罗技研株式会社

Inventor： 豊田雅史 ,  前岛邦彦 ,  河口智博 ,  石本龙也

IPC: G01N27/12

Abstract: 提供具备多个气体传感器的气体检测装置和气体检测方法。使用多个气体传感器，通过附带电路使其动作。附带电路进行如下处理：将动作时间计时，存储空气中的电阻值与环境气体中的电阻值的比的初始值；对空气中的电阻值进行学习，当金属氧化物半导体的电阻值变得比学习到的空气中的电阻值与比的初始值的商低时，检测到气体；当使最初的气体传感器动作了规定时间时，使下个气体传感器和最初的气体传感器在学习期间中一起动作，由最初的气体传感器继续进行检测，对下个气体传感器中的空气中的电阻值进行学习，如果学习期间结束，则由下个气体传感器进行检测。使气体检测装置的寿命提高，并且在气体传感器的切换时维持检测的可靠性。