公开(公告)号：CN119080846A

公开(公告)日：2024-12-06

申请号：CN202411181399.8

申请日：2024-08-27

Applicant: 许昌学院

Inventor： 张羽翔 ,  张艳鸽 ,  孙红 ,  孙国富 ,  徐静莉 ,  刘玲煜 ,  姚川 ,  胡梦瑶 ,  崔云鹏

IPC: C07F15/02 ,  C23C16/455 ,  C23C16/44 ,  G11C11/02

Abstract: 本发明公开了一种磁性随机信息存储材料用前驱体β‑酮亚胺基乙二醇二甲醚Fe(II)化合物，属于微电子材料技术领域。本发明提供了一种如式(I)所示的β‑酮亚胺基乙二醇二甲醚Fe(II)化合物，有良好的耐空气水分稳定性，较好的溶解性，良好的挥发性和热稳定性，以及良好的成膜性能，可用作化学气相沉积(CVD)/原子层沉积(ALD)的前驱体，通过CVD/ALD工艺制备出良好的Fe基薄膜。同时本发明合成方法简便，条件温和，降低了前驱体材料的合成成本。#imgabs0#