公开(公告)号：CN105977334B

公开(公告)日：2017-06-06

申请号：CN201610527980.X

申请日：2016-07-07

Applicant: 许昌学院

Inventor： 李品将 ,  李学峰 ,  王玉丹 ,  祁强 ,  张士礼 ,  代亚威

IPC: H01L31/072 ,  H01L31/032 ,  H01L31/18 ,  C23C14/35 ,  C23C14/18 ,  C23C14/58

CPC classification number: Y02E10/50

Abstract: 本发明公开了一种二硫化锡/三硫化二锡/硫化亚锡异质结薄膜的制备方法，先用磁控溅射仪在FTO导电玻璃上溅射不同厚度的Sn，称取不同量的硫粉，在管式炉中硫化得到SnS2，用无水乙醇、蒸馏水各洗涤3次，真空干燥。再用磁控溅射仪上在SnS2导电玻璃上溅射Sn，放在管式炉中真空烧结，得到目标产物。本法用磁控溅射的方法得到致密的Sn，在真空下烧结通过固相反应得到目标产物。本方法操作简单，对环境无污染，反应周期短，形成致密的薄膜。

公开(公告)号：CN105977334A

公开(公告)日：2016-09-28

申请号：CN201610527980.X

申请日：2016-07-07

Applicant: 许昌学院

Inventor： 李品将 ,  李学峰 ,  王玉丹 ,  祁强 ,  张士礼 ,  代亚威

IPC: H01L31/072 ,  H01L31/032 ,  H01L31/18 ,  C23C14/35 ,  C23C14/18 ,  C23C14/58

CPC classification number: Y02E10/50 ,  H01L31/072 ,  C23C14/18 ,  C23C14/35 ,  C23C14/5866 ,  H01L31/0324 ,  H01L31/18

Abstract: 本发明公开了一种二硫化锡/三硫化二锡/硫化亚锡异质结薄膜的制备方法，先用磁控溅射仪在FTO导电玻璃上溅射不同厚度的Sn，称取不同量的硫粉，在管式炉中硫化得到SnS2，用无水乙醇、蒸馏水各洗涤3次，真空干燥。再用磁控溅射仪上在SnS2导电玻璃上溅射Sn，放在管式炉中真空烧结，得到目标产物。本法用磁控溅射的方法得到致密的Sn，在真空下烧结通过固相反应得到目标产物。本方法操作简单，对环境无污染，反应周期短，形成致密的薄膜。