一种脉冲式均匀薄膜快速气相沉积的装置与方法

    公开(公告)号:CN112941493B

    公开(公告)日:2023-08-11

    申请号:CN202110127372.0

    申请日:2021-01-29

    Abstract: 本发明公开一种脉冲式均匀薄膜快速气相沉积的装置与方法,包括反应腔室、设在反应腔室一端的取样部以及反应腔室另一端的多个前驱体蒸汽注入单元;前驱体蒸汽注入单元包括前驱体蒸汽管路和惰性载气管路且二者汇合为主管路后伸入反应腔室、连通前驱体蒸汽管路的真空排空支路、连通惰性载气管路的惰性载气排空支路、位于反应腔室内且连在主管路端部的气体分布器、设在惰性载气管路上的流量控制器、设在各管路和支路上的阀门及连接前驱体蒸汽管路的储罐。本发明各前驱体蒸汽均可实现连续或间断脉冲式注入,且前驱体蒸汽浓度均可通过惰性载气进行稀释与调整;在保证薄膜沉积速度的同时可最大限度的节约反应前驱体,减少资源浪费,减少环境污染。

    以锂基复合薄膜为保护层的锂离子电池硅负极材料及方法

    公开(公告)号:CN116314733A

    公开(公告)日:2023-06-23

    申请号:CN202310194223.5

    申请日:2023-03-02

    Abstract: 本发明提供了一种以锂基复合薄膜为保护层的锂离子电池硅负极材料及方法,在纳米硅颗粒外部修饰有锂基复合薄膜作为保护层。锂基复合薄膜为双层lithicone/Li2O、双层Li2O/lithicone或叠层([(Li2O)x+(lithicone)y]z,其中x,y,z均为可变参数,且x≥1,y≥1,z≥2。本发明使用ALD和MLD技术制备了一种具有高初始库伦效率、高容量、长循环寿命的锂基复合薄膜修饰的锂离子电池硅负极材料。本发明的的硅负极材料的纳米级硅颗粒可以保证电极颗粒与电解液的充分接触,缩短了离子输运路径,增加反应的活性位点。本发明的的硅负极材料的锂基复合薄膜预先提供了部分锂源,减少了锂化过程固体电解质膜形成对锂的大量消耗。

    一种双金属氧化物改性硼燃料及制备方法

    公开(公告)号:CN114835538B

    公开(公告)日:2023-02-14

    申请号:CN202210462386.2

    申请日:2022-04-28

    Abstract: 本发明提供了一种双金属氧化物改性硼燃料及制备方法,该方法采用浸渍‑沉淀沉积法或沉淀沉积‑浸渍法对硼粉表面进行双金属氧化物改性,形成双金属氧化物改性硼燃料;所述的双金属氧化物为氧化铋和氧化钒的复合二元双金属氧化物;所述的双金属氧化物改性硼燃料中的氧化铋和氧化钒的含量分别为0.1wt.%~5wt.%。本发明采用沉淀沉积‑浸渍法和浸渍‑沉淀沉积法在硼粉表面负载氧化铋和氧化钒两种金属氧化物,形成具有高反应活性的双金属氧化物改性硼燃料。相比于纯硼粉具有较低氧化放热峰温和较短的点火延迟时间,并且两种金属氧化物组分的占比很低,可以在不影响硼粉能量密度的前提下有效改善硼粉的点火和燃烧性能,具有较大的应用潜力。

    一种火炸药废水降解光催化剂的批量制备方法

    公开(公告)号:CN109701513B

    公开(公告)日:2022-11-15

    申请号:CN201811375946.0

    申请日:2018-11-19

    Abstract: 本发明涉及一种批量化纳米光催化材料的制备方法。该方法借助转动床原子层沉积系统可实现大批量高比表面积微/纳米碳基底材料表面负载不同纳米光催化材料,可用于火炸药废水降解。利用石英晶体微天平研究原子层沉积纳米光催化材料的生长过程,通过实验确定转动床原子沉积在不同基底材料表面负载不同光催化材料的饱和原子层沉积时序条件,在最佳反应条件下重复多个周期直到生成所需担载量的微/纳米碳基底光催化材料。通过转动床原子层沉积所制备的光催化剂具有分散度高、内外表面分布均匀以及担载量精确可控等优点,在催化反应中表现出较高的活性与稳定性。此外,该方法具有自动化程度高、操作简单、可实现批量化生产。

    一种强化气-固传质的原子层沉积反应器及方法

    公开(公告)号:CN115233185A

    公开(公告)日:2022-10-25

    申请号:CN202210684043.0

    申请日:2022-06-16

    Abstract: 本发明提供了一种强化气‑固传质的原子层沉积反应器及方法,驱动器的壳体可拆卸式安装在反应外腔的后端,反应外腔的前端与进气法兰相连;反应外腔内设置有前端和后端均开放的转动笼,转动笼内安装有能够随着转动笼一起转动的多维度挡板;出气管的后端设置的连接头与驱动器的转轴可拆卸式相连,进气管和出气管均与转动笼同轴设置形成一个转动整体,驱动器带动出气管、转动笼和进气管一起同步转动。本发明中转动笼内的多维度挡板和圆锥形进气管结构起到强化气‑固传质的作用。轴向安装的挡板有效的分散粉末,平行侧板能进一步强化分散又可能重新团聚的粉末,物料在转动笼内的做多维运动,翻滚效果明显增强。

    一种推进剂用钒碳复合物燃烧催化剂及其制备方法

    公开(公告)号:CN111454111B

    公开(公告)日:2021-10-01

    申请号:CN202010288101.9

    申请日:2020-04-14

    Abstract: 本发明提出一种推进剂用钒碳复合物燃烧催化剂及其制备方法,制备方法主要包括将碳基基底暴露在钒源蒸气中,使其蒸气分子在碳基基底表面吸附;利用惰性载气将表面部分物理吸附的钒源分子吹离;将碳基基底暴露在氧化剂的蒸气中,使其蒸气分子与吸附的钒源分子发生氧化还原反应;利用惰性载气将碳基基底表面多余氧化剂蒸气分子吹离。本发明制备的钒碳复合物燃烧催化剂,具有钒氧化物在碳基基底表面高度分散,钒氧化物负载量精确可调,复合结构精确可控,环境友好以及催化活性高等特点,所采用的原子层沉积制备工艺自动化程度高,安全性能好,产品无需后处理即可直接使用,易于实现批量化生产。

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