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公开(公告)号：CN118577575A
公开(公告)日：2024-09-03
申请号：CN202410638144.3
申请日：2024-05-22
Applicant: 西安电子科技大学
IPC: B08B7/00 , B08B13/00 , G01N23/2273 , G01N27/00
Abstract: 本发明提供了一种大气压等离子体清洗不锈钢电极的装置及工艺，装置包括等离子体发生器和清洗平台；等离子体喷头的直径范围50‑150mm，高压高频交流电源通过等离子体喷头内部的放电电极向放电间隙施加高频交流电压，间隙击穿产生等离子体，并在气流的作用下喷射，形成直径50‑150mm的大体积等离子体射流，可以直接对不锈钢电极进行清洗；清洗平台为带有导轨的移动底座，移动底座用于承载等离子体发生器或待清洗的不锈钢电极，并控制等离子体发生器或不锈钢电极沿导轨的运动速度、运动方向和停留时间，本发明还利用电极样品和检测样片，分析不同外施参数下不锈钢电极表面污染物的去除率，形成明确清晰的清洗工艺。
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