一种声学驱动的微型磁电天线结构及其制备方法

    公开(公告)号:CN109786923A

    公开(公告)日:2019-05-21

    申请号:CN201811573406.3

    申请日:2018-12-21

    Abstract: 一种声学驱动的微型磁电天线结构及制备方法,包括基体、布拉格声反射层、底部电极、顶部电极、压电层和磁致伸缩层;布拉格声反射层设置在基体上表面,布拉格声反射层的上表面设置压电层,压电层一端的下部与布拉格声反射层之间设置底部电极;压电层的上表面设置有顶部电极和磁致伸缩层。本发明的声学驱动超小型磁电天线用布拉格声反射层取代了空气间隙结构和背部掏空的结构,这种改进不仅提高了磁电天线的机械强度,而且多层反射层的存在有利于器件的散热。

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