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公开(公告)号：CN108227051A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201810019496.5
申请日：2018-01-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: G02B3/00
CPC classification number: G02B3/0037
Abstract: 一种毫微纳三级结构复眼透镜的制造方法，先将甲苯溶液涂覆在黑色亚克力板表面，制得表面覆盖有MMA薄膜的第一样片，将第一样片安装于三维工作台上，使得飞秒激光器发射出的激光经物镜垂直照射在第一样片的黑色亚克力板表面上，制得具有微米结构透镜的第二样片；再将PDMS旋涂在第二样片上，制得具有微米结构的反模具，利用气压辅助成形方法实现微米结构阵列的曲面化，制得毫微二级复合结构的第三样片；在第三样片表面溅射ZnO得到第四样片，将其放入六甲基四胺溶液和硝酸锌溶液的混合溶液中，水浴得到第五样片；最后将第五样片清洗烘干，实现毫微纳三级结构的复眼透镜的制造，本发明减小纳米结构的变形，保证了结构的完整性，提高了效率。
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公开(公告)号：CN109633795A
公开(公告)日：2019-04-16
申请号：CN201811509666.4
申请日：2018-12-11
Applicant: 西安交通大学
IPC: G02B3/00
Abstract: 一种利用皮秒激光快速制备均匀可控微透镜阵列的方法，先将聚甲基丙烯酸甲酯PMMA和甲基红MR溶解在甲苯中，磁力搅拌装置搅拌，超声混合，用滤纸过滤，得到PMMA混合溶液，然后将PMMA混合溶液涂在玻璃片上，室温下，在封闭空间中静置，获得具有光滑表面和均匀厚度的PMMA膜；然后搭建光路，再利用电脑调节皮秒激光器输出激光，激光波长为532nm，重频为30kHz，脉宽为10ps，激光功率为3‑4W；将PMMA膜作为加工样片固定在移动载物台加工工位上，制备均匀可控微透镜阵列；本发明不仅提高了大面积微透镜阵列效率，而且加工完成后可以直接成像，无需后处理，大大简化了微透镜阵列的制备流程。
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公开(公告)号：CN107738036B
公开(公告)日：2019-03-12
申请号：CN201711088851.6
申请日：2017-11-08
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/60 , B23K26/0622 , G02B3/00
Abstract: 一种利用飞秒激光制备均匀、可控微透镜结构的方法，先将PMMA颗粒溶于甲苯，涂敷在黑色亚克力板上，固化得双层加工样片；然后搭建光路，光路包括飞秒激光器，飞秒激光器输出光经过第一反射镜使光路转90°，反射光依次经过衰减片、光圈、半波片、分光棱镜、快门、第二反射镜、聚焦物镜垂直照射在移动载物台的加工工位上，飞秒激光器、快门、移动载物台和电脑连接；再利用电脑调节飞秒激光器输出激光参数，将双层结构样片固定在移动载物台加工工位上，经飞秒激光照射，利用电脑控制移动载物台移动，本发明利用透明PMMA层和黑色亚克力板的光吸收率差异，使得膨胀区域与吸收区域的分离，使微透镜阵列结构不易破裂，提高了微透镜阵列直径和高度可控范围。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN107738036A
公开(公告)日：2018-02-27
申请号：CN201711088851.6
申请日：2017-11-08
Applicant: 西安交通大学
IPC: B23K26/60 , B23K26/0622 , G02B3/00
CPC classification number: B23K26/60 , B23K26/0624 , G02B3/0025
Abstract: 一种利用飞秒激光制备均匀、可控微透镜结构的方法，先将PMMA颗粒溶于甲苯，涂敷在黑色亚克力板上，固化得双层加工样片；然后搭建光路，光路包括飞秒激光器，飞秒激光器输出光经过第一反射镜使光路转90°，反射光依次经过衰减片、光圈、半波片、分光棱镜、快门、第二反射镜、聚焦物镜垂直照射在移动载物台的加工工位上，飞秒激光器、快门、移动载物台和电脑连接；再利用电脑调节飞秒激光器输出激光参数，将双层结构样片固定在移动载物台加工工位上，经飞秒激光照射，利用电脑控制移动载物台移动，本发明利用透明PMMA层和黑色亚克力板的光吸收率差异，使得膨胀区域与吸收区域的分离，使微透镜阵列结构不易破裂，提高了微透镜阵列直径和高度可控范围。
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公开(公告)号：CN108227051B
公开(公告)日：2019-04-23
申请号：CN201810019496.5
申请日：2018-01-09
Applicant: 西安交通大学
IPC: G02B3/00
Abstract: 一种毫微纳三级结构复眼透镜的制造方法，先将甲苯溶液涂覆在黑色亚克力板表面，制得表面覆盖有MMA薄膜的第一样片，将第一样片安装于三维工作台上，使得飞秒激光器发射出的激光经物镜垂直照射在第一样片的黑色亚克力板表面上，制得具有微米结构透镜的第二样片；再将PDMS旋涂在第二样片上，制得具有微米结构的反模具，利用气压辅助成形方法实现微米结构阵列的曲面化，制得毫微二级复合结构的第三样片；在第三样片表面溅射ZnO得到第四样片，将其放入六甲基四胺溶液和硝酸锌溶液的混合溶液中，水浴得到第五样片；最后将第五样片清洗烘干，实现毫微纳三级结构的复眼透镜的制造，本发明减小纳米结构的变形，保证了结构的完整性，提高了效率。
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公开(公告)号：CN111060997B
公开(公告)日：2021-05-07
申请号：CN202010058570.1
申请日：2020-01-19
Applicant: 西安交通大学
IPC: G02B3/00
Abstract: 一种多级复眼透镜的制造方法，先利用光刻方法制备微柱阵列，然后给微柱阵列表面溅射ZnO，利用微喷印机在微柱阵列间隙喷印紫外固化胶，利用液滴滴落次数控制微透镜形貌，得到微透镜阵列；再将六甲基四胺和硝酸锌分别溶于去离子水中，然后将六甲基四胺溶液倒入硝酸锌溶液中得到混合溶液，将微透镜阵列放入混合溶液中，放入水浴锅中水浴；最后取出微透镜阵列用去离子水清洗，烘干得到多级复眼透镜；本发明在减小光信号交联的情况下，可以极大程度提高结构表面疏水性及液滴稳定性；极大提高液滴的稳定性，液滴很难填充到微柱阵列间隙；微透镜间隙的纳米结构可以降低光透性，降低了光信号之间的交联。
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公开(公告)号：CN111060997A
公开(公告)日：2020-04-24
申请号：CN202010058570.1
申请日：2020-01-19
Applicant: 西安交通大学
IPC: G02B3/00
Abstract: 一种多级复眼透镜的制造方法，先利用光刻方法制备微柱阵列，然后给微柱阵列表面溅射ZnO，利用微喷印机在微柱阵列间隙喷印紫外固化胶，利用液滴滴落次数控制微透镜形貌，得到微透镜阵列；再将六甲基四胺和硝酸锌分别溶于去离子水中，然后将六甲基四胺溶液倒入硝酸锌溶液中得到混合溶液，将微透镜阵列放入混合溶液中，放入水浴锅中水浴；最后取出微透镜阵列用去离子水清洗，烘干得到多级复眼透镜；本发明在减小光信号交联的情况下，可以极大程度提高结构表面疏水性及液滴稳定性；极大提高液滴的稳定性，液滴很难填充到微柱阵列间隙；微透镜间隙的纳米结构可以降低光透性，降低了光信号之间的交联。
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公开(公告)号：CN109633795B
公开(公告)日：2020-05-15
申请号：CN201811509666.4
申请日：2018-12-11
Applicant: 西安交通大学
IPC: G02B3/00
Abstract: 一种利用皮秒激光快速制备均匀可控微透镜阵列的方法，先将聚甲基丙烯酸甲酯PMMA和甲基红MR溶解在甲苯中，磁力搅拌装置搅拌，超声混合，用滤纸过滤，得到PMMA混合溶液，然后将PMMA混合溶液涂在玻璃片上，室温下，在封闭空间中静置，获得具有光滑表面和均匀厚度的PMMA膜；然后搭建光路，再利用电脑调节皮秒激光器输出激光，激光波长为532nm，重频为30kHz，脉宽为10ps，激光功率为3‑4W；将PMMA膜作为加工样片固定在移动载物台加工工位上，制备均匀可控微透镜阵列；本发明不仅提高了大面积微透镜阵列效率，而且加工完成后可以直接成像，无需后处理，大大简化了微透镜阵列的制备流程。
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