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公开(公告)号：CN2412212Y
公开(公告)日：2000-12-27
申请号：CN00226180.4
申请日：2000-03-09
Applicant: 西安交通大学
Inventor： 蒋庄德 , 王海容 , 赵则祥 , 王朝晖 , 陈伟 , 伊燕玲 , 赵玉龙
IPC: G01L3/10
Abstract: 一种微机械力学性能测试仪,由压头卡具、真空装夹机构、Z向驱动装置、激光器、X/Y工作台、电容测微仪、CCD摄像机等组成,薄膜、MEMS器件、各种微机械小器件的力学性能测试,对不同尺度、下体积材料和微小构件力学性能进行研究。
