公开(公告)号：CN113109593A

公开(公告)日：2021-07-13

申请号：CN202110421860.2

申请日：2021-04-20

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 江亮 ,  徐文镔 ,  钱林茂 ,  解国新 ,  和枫

IPC: G01Q10/00

Abstract: 本发明公开了应用于扫描探针显微镜的摆动式多模式组合探针测试装置，包括腔体上盖、组合探针切换机构和组合探针，利用该装置在真空或气氛环境下实现多模式组合探针原位高效切换时，首先将该装置安装在扫描探针显微镜上，设置真空或气氛环境，然后组合探针切换机构摆动，驱动组合探针依次到目标位置，对样品进行多模式原位测试，该装置解决了现有扫描探针显微镜的不足，避免切换探针时破坏实验环境，支持多模式原位测试，通过电磁测试模式测试或改变样品表面电磁类物理量，通过轻敲模式无损测量样品表面形貌，尤其适用于软样品，通过摩擦力模式测试样品表面摩擦磨损，采用摆动式设计，减小装置体积，节约腔体空间，增加装置通用性。

公开(公告)号：CN113109593B

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN202110421860.2

申请日：2021-04-20

Applicant: 西南交通大学

Inventor： 江亮 ,  徐文镔 ,  钱林茂 ,  解国新 ,  和枫

IPC: G01Q10/00

Abstract: 本发明公开了应用于扫描探针显微镜的摆动式多模式组合探针测试装置，包括腔体上盖、组合探针切换机构和组合探针，利用该装置在真空或气氛环境下实现多模式组合探针原位高效切换时，首先将该装置安装在扫描探针显微镜上，设置真空或气氛环境，然后组合探针切换机构摆动，驱动组合探针依次到目标位置，对样品进行多模式原位测试，该装置解决了现有扫描探针显微镜的不足，避免切换探针时破坏实验环境，支持多模式原位测试，通过电磁测试模式测试或改变样品表面电磁类物理量，通过轻敲模式无损测量样品表面形貌，尤其适用于软样品，通过摩擦力模式测试样品表面摩擦磨损，采用摆动式设计，减小装置体积，节约腔体空间，增加装置通用性。