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公开(公告)号：CN103968997B
公开(公告)日：2016-02-03
申请号：CN201410153557.9
申请日：2014-04-17
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种微型皮拉尼计，属于微机电系统封装的真空度检测领域。该皮拉尼计的硅结构在器件层8上制作，主要包括加热和散热两部分结构；加热结构由两根呈周期梯形弯曲的加热体5组成；所述散热结构由三部分组成：侧面两个相互对称的两侧散热体2和一个中间散热体梳齿3；两侧散热体梳齿2、中间散热体梳齿3分别与加热体5相互咬合。有益效果：加热体与锚点有四个连接点，与相同长度的加热体相比，增强了其机械强度；工艺过程中不存在键合、淀积等工艺，避免了加热体由于热膨胀导致的塌陷、折断等问题；散热体除了器件层的结构外，基底同时也作为散热体，且加热体与竖直方向夹角为（2±1）°，有利于散热，从而缩短了皮拉尼计的响应时间。
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公开(公告)号：CN103968997A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410153557.9
申请日：2014-04-17
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种微型皮拉尼计，属于微机电系统封装的真空度检测领域。该皮拉尼计的硅结构在器件层8上制作，主要包括加热和散热两部分结构；加热结构由两根呈周期梯形弯曲的加热体5组成；所述散热结构由三部分组成：侧面两个相互对称的两侧散热体2和一个中间散热体梳齿3；两侧散热体梳齿2、中间散热体梳齿3分别与加热体5相互咬合。有益效果：加热体与锚点有四个连接点，与相同长度的加热体相比，增强了其机械强度；工艺过程中不存在键合、淀积等工艺，避免了加热体由于热膨胀导致的塌陷、折断等问题；散热体除了器件层的结构外，基底同时也作为散热体，且加热体与竖直方向夹角为（2±1）°，有利于散热，从而缩短了皮拉尼计的响应时间。
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公开(公告)号：CN104764559A
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：CN201510125371.7
申请日：2015-03-20
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01L9/08
Abstract: 本发明提出了一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法，谐振器1的振动产生变化电容信号后分为两路，一路经过第一数字模块4、第二数字模块5、减法器模块6、参考数字信号7、数字比例控制器8形成放大的负反馈误差控制量；另一路经过交流提取模块9和数字运算单元10后完成偏置处理和溢出检测；D/A数模转换器11将处理完毕的数字量转换成模拟信号以驱动谐振器振动。本发明用数字算法代替模拟电路，节省模拟整流、滤波环节中消耗的时间，以提升系统动态特性；用数字算法获取正弦信号的有效值精度比模拟低通滤波获取的有效值精度更高，提高闭环回路中正弦信号振幅的稳定程度；数字电路降低整个系统的功耗，并提升系统的抗干扰能力。
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公开(公告)号：CN104764559B
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201510125371.7
申请日：2015-03-20
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01L9/08
Abstract: 本发明提出了一种硅谐振压力传感器闭环控制电路及实现方法，谐振器1的振动产生变化电容信号后分为两路，一路经过第一数字模块4、第二数字模块5、减法器模块6、参考数字信号7、数字比例控制器8形成放大的负反馈误差控制量；另一路经过交流提取模块9和数字运算单元10后完成偏置处理和溢出检测；D/A数模转换器11将处理完毕的数字量转换成模拟信号以驱动谐振器振动。本发明用数字算法代替模拟电路，节省模拟整流、滤波环节中消耗的时间，以提升系统动态特性；用数字算法获取正弦信号的有效值精度比模拟低通滤波获取的有效值精度更高，提高闭环回路中正弦信号振幅的稳定程度；数字电路降低整个系统的功耗，并提升系统的抗干扰能力。
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