公开(公告)号：CN106773102A

公开(公告)日：2017-05-31

申请号：CN201611153922.1

申请日：2016-12-14

Applicant: 西北工业大学

Inventor： 游桥明 ,  乔大勇

IPC: G02B27/48 ,  G02B26/08 ,  G02B5/08

CPC classification number: G02B27/48 ,  G02B5/08 ,  G02B26/0833

Abstract: 本发明提供一种激光显示系统中抑制激光散斑的MEMS振镜及其制作方法，该MEMS振镜以SOI片(Silicon‑On‑Insulator)为加工对象，采用光刻、刻蚀和镀膜等微加工工艺制作，主要包含反射镜面、谐振悬梁、驱动梳齿和检测梳齿等结构。反射镜面表面设计有随机分布且微小的波浪起伏特征，在实现激光反射的同时通过干扰激光相位实现散斑抑制功能。反射镜面上设计有与之相匹配的驱动梳齿、检测梳齿和谐振梁结构，通过梳齿静电驱动可以实现反射镜的面内振动，利用人眼视觉暂留时间内散斑图像的叠加从而实现散斑对比度因时间平均而被降低，增强器件的散斑抑制效果。本发明所提供的MEMS振镜形式的激光散斑抑制器件具有可靠性高、能耗低、散斑抑制效果明显、加工简单，易于大批量生产等特点。

公开(公告)号：CN106773102B

公开(公告)日：2019-03-26

申请号：CN201611153922.1

申请日：2016-12-14

Applicant: 西北工业大学

Inventor： 游桥明 ,  乔大勇

IPC: G02B27/48 ,  G02B26/08 ,  G02B5/08

Abstract: 本发明提供一种激光显示系统中抑制激光散斑的MEMS振镜及其制作方法，该MEMS振镜以SOI片(Silicon‑On‑Insulator)为加工对象，采用光刻、刻蚀和镀膜等微加工工艺制作，主要包含反射镜面、谐振悬梁、驱动梳齿和检测梳齿等结构。反射镜面表面设计有随机分布且微小的波浪起伏特征，在实现激光反射的同时通过干扰激光相位实现散斑抑制功能。反射镜面上设计有与之相匹配的驱动梳齿、检测梳齿和谐振梁结构，通过梳齿静电驱动可以实现反射镜的面内振动，利用人眼视觉暂留时间内散斑图像的叠加从而实现散斑对比度因时间平均而被降低，增强器件的散斑抑制效果。本发明所提供的MEMS振镜形式的激光散斑抑制器件具有可靠性高、能耗低、散斑抑制效果明显、加工简单，易于大批量生产等特点。