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公开(公告)号：CN102730632A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210239597.6
申请日：2012-07-12
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种金属薄膜应变计的MEMS加工方法。该方法采用多次聚酰亚胺旋涂和处理，分别形成应变计的基底、覆盖层，通过金属剥离和湿法腐蚀等分别形成应变计的敏感栅部分和锚点部分，并通过酒精浸泡实现应变计的自释放。与现有技术相比，本发明采用磁控溅射工艺将应变计敏感栅层材料直接溅射到应变计基底上，不需要粘接剂，提高了应变计的性能；采用新工艺解决了手工粘贴聚酰亚胺薄膜产生气泡引起的平整度较低的问题，省时省力；采用MEMS加工工艺，提高了应变计的灵敏度、分辨率和测量范围，降低应变计的功耗；实现微小应变的测量，实现点应力和扭矩的测量，减少测量时对被测试件影响，提高测量精度；易于实现批量化生产，降低单个器件的成本。
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公开(公告)号：CN102701140B
公开(公告)日：2014-11-26
申请号：CN201210139427.0
申请日：2012-05-06
Applicant: 西北工业大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种悬空硅热敏电阻加工方法，属于微机电系统技术领域。该方法先刻蚀背腔，再完成悬空热敏电阻和其金属导线的制作。与现有技术相比，本发明：1.采用硅作为热敏材料，提高热敏电阻的电阻温度系数。2.经本方法可以加工悬空长度达1.3mm的热敏电阻，提高了气流检测的灵敏度、响应时间和以及热敏电阻的成品率，增大了悬空距离，达到毫米量级。3.加工过程中采用先刻蚀出背腔，再刻蚀热敏电阻，因不需要二次保护，简化了工艺步骤，提高了成品率。4.基于标准MEMS工艺加工悬空热敏电阻，易于实现大批量生产。
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公开(公告)号：CN102701140A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210139427.0
申请日：2012-05-06
Applicant: 西北工业大学
IPC: B81C1/00
Abstract: 本发明公开了一种悬空硅热敏电阻加工方法，属于微机电系统技术领域。该方法先刻蚀背腔，再完成悬空热敏电阻和其金属导线的制作。与现有技术相比，本发明：1.采用硅作为热敏材料，提高热敏电阻的电阻温度系数。2.经本方法可以加工悬空长度达1.3mm的热敏电阻，提高了气流检测的灵敏度、响应时间和以及热敏电阻的成品率，增大了悬空距离，达到毫米量级。3.加工过程中采用先刻蚀出背腔，再刻蚀热敏电阻，因不需要二次保护，简化了工艺步骤，提高了成品率。4.基于标准MEMS工艺加工悬空热敏电阻，易于实现大批量生产。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102703300A
公开(公告)日：2012-10-03
申请号：CN201210151877.1
申请日：2012-05-16
Applicant: 西北工业大学
CPC classification number: C12M47/04
Abstract: 本发明公开了一种用于细胞分选的多分选区结构及其使用方法，属于微流控芯片领域。该结构由外部接口层、PDMS薄膜层和基底层三部分键合在一起；外部接口层包括两端的细胞液接口和中部的N组通气接口；PDMS薄膜层上有与N个内凹形成的气室；基底层上有N+1组细胞分选区，各细胞分选区上具有直径为di(i＝1,2,…,N+1)的分选孔；各相邻分选区之间通过N条微管道连通。利用本发明的结构进行细胞分选的过程中，由于不同组的分选区结构是相互独立的，故在前一组分选区中分选孔发生堵塞的情况下不会对后一组分选组产生影响，而且通过不同组数分选区的组合，可以实现不同尺寸的细胞多次分选，得到尺寸满足d＜d1,d1≤d＜d2,…,dN≤d＜dN+1的N+1组分选细胞。
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公开(公告)号：CN103341372A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310283051.5
申请日：2013-07-05
Applicant: 西北工业大学
Abstract: 本发明公开了一种用于流式细胞仪的微流控芯片结构及其制作方法，该芯片包括样品液入口1，状阵列结构6，锥形聚焦结构7，微通道8，检测区4，扩流通道9，废液出口端5；柱状阵列结构6具有过滤样品液内部的团聚蛋白质杂质及其他大块生物固体杂质的作用；锥形聚焦结构7具有类似于传统的鞘流液系统的聚焦效果，使得细胞颗粒单个流入微通道8；微通道8通过通道束缚细胞使其单个通过检测区4。本发明所述芯片结构可以实现无鞘流液的聚焦作用而不产生堵塞从而减少了鞘流液的使用，同时保证了细胞颗粒单个通过检测区。该微流控芯片加工方法方便，所用的键合方法为常用的键合方法，操作简便，使用材料PDMS易于加工且具有良好的生物兼容性。
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公开(公告)号：CN102703300B
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201210151877.1
申请日：2012-05-16
Applicant: 西北工业大学
CPC classification number: C12M47/04
Abstract: 本发明公开了一种用于细胞分选的多分选区结构及其使用方法，属于微流控芯片领域。该结构由外部接口层、PDMS薄膜层和基底层三部分键合在一起；外部接口层包括两端的细胞液接口和中部的N组通气接口；PDMS薄膜层上有与N个内凹形成的气室；基底层上有N+1组细胞分选区，各细胞分选区上具有直径为di(i＝1,2,…,N+1)的分选孔；各相邻分选区之间通过N条微管道连通。利用本发明的结构进行细胞分选的过程中，由于不同组的分选区结构是相互独立的，故在前一组分选区中分选孔发生堵塞的情况下不会对后一组分选组产生影响，而且通过不同组数分选区的组合，可以实现不同尺寸的细胞多次分选，得到尺寸满足d＜d1,d1≤d＜d2,…,dN≤d＜dN+1的N+1组分选细胞。
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公开(公告)号：CN102749076A
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201210235640.1
申请日：2012-07-09
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01C19/02
Abstract: 本发明涉及一种基于扩张-收缩管微泵的射流转子陀螺，属于惯性测量领域。该射流转子陀螺的检测腔分别通过相应的出气口与相应的振动腔连通；所述各出气口径向错开；出气口为锥形通道，其小端与所述检测腔连接，大端与振动腔连接；同时，振动腔还通过锥状进气口与外界连通，锥形小端与外界连接，大端与振动腔连接。该射流转子陀螺充分利用合成射流的特点，利用进气口与出气口对气流的阻力的不同，实现气体的定向传输，单向流动，即由进气口到出气口，由振动腔到检测腔的传输与流动。利用通气孔与外界相通，解决了由于压电片振动引起的气体温度升高，提高射流转子陀螺的精度。振动腔振动相位相差为0时，产生的气流转子轴与壳体轴有更好的一致性。
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公开(公告)号：CN202748033U
公开(公告)日：2013-02-20
申请号：CN201220329484.0
申请日：2012-07-09
Applicant: 西北工业大学
IPC: G01C19/02
Abstract: 本实用新型涉及一种基于扩张-收缩管微泵的射流转子陀螺，属于惯性测量领域。该射流转子陀螺的检测腔分别通过相应的出气口与相应的振动腔连通；所述各出气口径向错开；出气口为锥形通道，其小端与所述检测腔连接，大端与振动腔连接；同时，振动腔还通过锥状进气口与外界连通，锥形小端与外界连接，大端与振动腔连接。该射流转子陀螺充分利用合成射流的特点，利用进气口与出气口对气流的阻力的不同，实现气体的定向传输，单向流动，即由进气口到出气口，由振动腔到检测腔的传输与流动。利用通气孔与外界相通，解决了由于压电片振动引起的气体温度升高，提高射流转子陀螺的精度。振动腔振动相位相差为0时，产生的气流转子轴与壳体轴有更好的一致性。
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