公开(公告)号：CN102345099B

公开(公告)日：2014-02-05

申请号：CN201110274738.3

申请日：2011-09-15

Applicant: 西北工业大学

Inventor： 张程煜 ,  曹华伟 ,  乔生儒 ,  折洁 ,  韩栋 ,  李玫

IPC: C23C14/32 ,  C23C14/06 ,  C23C14/16

Abstract: 本发明涉及一种汽轮机叶片材料表面多层抗点蚀涂层的制备方法，技术特征在于：以纯Ti作为过渡层，TiN作为中间层，表面层由TiAlN层组成；涂层的制备方法包括：工件表面清洗、离子轰击清洗、制备过渡层、制备中间层和制备表层TiAlN层。本发明中涉及的涂层采用带有磁过滤的电弧离子镀设备制备，靶材为纯Ti靶和纯Al靶，工作气体采用氩气，反应气体采用氮气。本发明涂层的显微硬度为1800～2500HV0.1，涂层表面光滑致密、涂层均匀、大颗粒较少，涂层与基体结合力的临界载荷为15～20N，涂层与基体的结合力良好，涂层的厚度为2～3μm。

公开(公告)号：CN102345099A

公开(公告)日：2012-02-08

申请号：CN201110274738.3

申请日：2011-09-15

Applicant: 西北工业大学

Inventor： 张程煜 ,  曹华伟 ,  乔生儒 ,  折洁 ,  韩栋 ,  李玫

IPC: C23C14/32 ,  C23C14/06 ,  C23C14/16

Abstract: 本发明涉及一种汽轮机叶片材料表面多层抗点蚀涂层的制备方法，技术特征在于：以纯Ti作为过渡层，TiN作为中间层，表面层由TiAlN层组成；涂层的制备方法包括：工件表面清洗、离子轰击清洗、制备过渡层、制备中间层和制备表层TiAlN层。本发明中涉及的涂层采用带有磁过滤的电弧离子镀设备制备，靶材为纯Ti靶和纯Al靶，工作气体采用氩气，反应气体采用氮气。本发明涂层的显微硬度为1800～2500HV0.1，涂层表面光滑致密、涂层均匀、大颗粒较少，涂层与基体结合力的临界载荷为15～20N，涂层与基体的结合力良好，涂层的厚度为2～3μm。