腔外倍频连续深紫外激光装置、系统及半导体检测系统

    公开(公告)号:CN119852832A

    公开(公告)日:2025-04-18

    申请号:CN202411997901.2

    申请日:2024-12-31

    Abstract: 本公开提供了一种腔外倍频连续深紫外激光装置、激光系统及半导体检测系统,该装置包括红外激光模块、绿激光模块及深紫外激光模块。红外激光模块用于产生目标连续红外激光;绿激光模块包括红外反射镜组件及第一转换组件,红外反射镜组件用于将目标连续红外激光的传输光路由第一红光光路转换为第二红光光路,第一转换组件用于对目标连续红外激光进行多通二次谐波转换,得到目标连续绿激光。深紫外激光模块包括绿光反射镜及第二转换组件,绿光反射镜用于将目标连续绿激光的传输光路由第一绿光光路转换为第二绿光光路,第二转换组件用于对目标连续绿激光进行多通四次谐波转换,得到目标连续深紫外激光。这样,可以降低技术实现难度,且提升转换效率。

    一种具备高损伤阈值的激光扩束器

    公开(公告)号:CN115793263A

    公开(公告)日:2023-03-14

    申请号:CN202211428892.6

    申请日:2022-11-15

    Inventor: 邹达 曹通 赵晓杰

    Abstract: 本发明公开了一种具有高损伤阈值的激光扩束器,该激光扩束器包括沿光路依次设置的第一元件和第二元件,其中,所述第一元件的输入面为斜切平面且未镀有增透膜,所述第二元件的输出面为斜切平面;光束以布儒斯特角入射至所述第一元件,并从所述第一元件出射后传输特定距离L达到所述第二元件,然后经由所述第二元件的输出面以布儒斯特角出射。本发明设置光束入射面为斜切平面,且不镀设增透膜,从而增加激光扩束器的使用寿命,同时减少反射损耗,避免反射回光的不利影响。

    超高频光纤激光器切割材料的设备及其工作方法

    公开(公告)号:CN111906455A

    公开(公告)日:2020-11-10

    申请号:CN202010807370.1

    申请日:2020-08-12

    Abstract: 本发明涉及超高频光纤激光器切割材料的设备及其工作方法,该设备包括顺次连接的超高频光纤激光器、扩束器、反射镜以及振镜,超高频光纤激光器内设有光纤传送装置,振镜连接有视觉定位系统,其中,超高频光纤激光器的单脉冲能量大于1μj。本发明采用超高频、低脉宽的光纤激光器,配合滚动平台等自动化机构进行材料的裁切,与纳秒红外激光器和绿光激光器相比,具有切割速度快、热影响小、成本低、设备简单灵活的优点,切割速度和切割质量有了大幅提升。

    一种具有自学习功能的激光加工分析装置和方法

    公开(公告)号:CN108907453B

    公开(公告)日:2020-10-30

    申请号:CN201810877567.5

    申请日:2018-08-03

    Abstract: 本发明提供了一种具有自学习功能的激光加工分析装置和方法,该装置包括第一获取模块,用于获取用户输入的加工信息;第一处理分析模块,用于根据加工信息和历史加工信息进行对比以获取重叠特征,并对重叠特征的数据进行自学习以输出加工参数;第二获取模块,用于获取用户根据加工参数和加工信息进行试验后的修正信息;修正模块,用于根据修正信息进行自学习以调整第一处理分析模块;数据库,用于存储加工信息、加工参数、修正信息及历史加工信息。本发明使得激光加工的工艺更加智能化和自动化,不仅能够极大的提高激光加工数据采集的精确度,而且还减少了人工反复试验的环节,大大提高了工作效率。

    雾化消毒方法
    6.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111632175A

    公开(公告)日:2020-09-08

    申请号:CN202010490406.8

    申请日:2020-06-02

    Inventor: 赵晓杰 吴双

    Abstract: 本发明涉及一种雾化消毒方法,包括以下步骤:利用激光加工系统制备得到带雾化孔的雾化片;将指定剂量的消毒剂从雾化片的雾化孔振出,使消毒剂雾化得到大量的雾滴;将雾滴按照指定角度排入目标空间内,以使雾滴弥漫于目标空间中,对目标空间内的物体进行消毒。本方案通过利用激光加工系统制备得到带雾化孔的雾化片,并将消毒剂通过振子振动将雾化剂从雾化片的雾化孔排出,得到雾化后的雾滴,并通过将雾滴排入目标空间中并持续弥漫,以对该目标空间进行全面的消毒,消毒效果好;同时,整个雾化过程高效简单,不会产生过多的热量,不会对消毒剂的药性产生影响。

    利用多光束激光干涉制作衍射光学器件的方法

    公开(公告)号:CN110320582A

    公开(公告)日:2019-10-11

    申请号:CN201910635606.5

    申请日:2019-07-15

    Abstract: 本发明提供了一种利用多光束激光干涉制作衍射光学器件的方法,包括,将光刻胶涂覆在透明的晶圆材料表面;使用多束激光在光刻胶表面或内部特定位置产生干涉点或条纹,进而在干涉点或条纹处产生光刻胶的聚合、固化,完成所需的固化图案;使用有机溶剂将未固化的光刻胶洗去;通过化学或等离子体刻蚀的方式,在晶圆材料表面进行刻蚀,以将没有固化光刻胶覆盖的晶圆材料表面刻蚀;将残余的固化光刻胶洗去,得到衍射光学器件;对衍射光学器件进行分切,得到单个衍射光学器件。本发明制作的衍射光学器件的分辨率小于1um,相对于常规的激光加工方式,使用该方法来加工的衍射光学器件加工速度更快,具有高度的空间选择性;同时该方法适用于各种不同的晶圆材料的加工。

    一种利用高频纳秒光纤激光切割电池极片的装置及方法

    公开(公告)号:CN109926736A

    公开(公告)日:2019-06-25

    申请号:CN201910286367.7

    申请日:2019-04-10

    Abstract: 本发明属于激光切割技术领域,公开了一种利用高频纳秒光纤激光切割电池极片的装置,包括顺次设置的高频纳秒光纤激光器、光纤传送装置、反射镜、扩束器、振镜、视觉定位系统。该装置采用高频、短脉宽的激光发生机构,与常规激光器相比,具有切割速度快、热影响小、金属裸露少的优点,切割速度和切割质量有了大幅提升,解决了常规工艺切割电池片后存在的边缘毛刺和杂质、不平整的问题,保证了电池极片的质量,进而保证了锂离子电池的质量。本发明还提供了利用该装置切割电池极片的方法,该方法工艺步骤简单,切割精度高、速度快,提升了电池极片的生产产能,仅激光光束即可完成切割,无需辅助机械切割,进一步节省了工序。

Patent Agency Ranking