公开(公告)号：CN1666294A

公开(公告)日：2005-09-07

申请号：CN03815404.8

申请日：2003-05-29

Applicant: 英法塞技术公司

Inventor： S·塞塔沙亚诺恩 ,  X·T·潘 ,  M·D·迈克尔斯 ,  B·C·伊哈斯

IPC: G11C13/04 ,  G03F7/004

CPC classification number: G02B5/32 ,  G03F7/001 ,  G03F7/027 ,  G11C13/046

Abstract: 本发明公开了一种新型的双化学体系的光成像体系，其含有液态光活性不对称丙烯酸酯化合物和铝盐化合物，所述不对称丙烯酸酯化合物含有硫、芳族结构和可选择地溴。所述光成像体系具有高动态范围(M/#)、灵敏度和未预料到的耐高温高湿性。所述光成像体系当曝露在60℃长达4周仍可以保持其动态范围，而不含所述铝盐化合物的组合物在相同曝露条件下会损失其动态范围值的75％。在一个实施方案中，溶解在含有0.002wt％－1wt％所述铝盐化合物的两组分氨基甲酸酯基质中的2－10wt％的丙烯酸硫代丁基酯对于200微米厚的样品来说其表现出的动态范围大于5，当曝露在60℃长达4周仍可以保持大于80％的动态范围。