公开(公告)号：CN201395509Y

公开(公告)日：2010-02-03

申请号：CN200920039610.7

申请日：2009-04-17

Applicant: 苏州苏大维格光电科技股份有限公司 ,  苏州大学

Inventor： 皮利华 ,  申溯 ,  楼益民 ,  庄孝磊 ,  周芳 ,  陈林森

IPC: B81C1/00 ,  B82B3/00 ,  H01L21/82

Abstract: 本实用新型公开了一种步进式微区压印系统，包括放置待压印基板的工作平台，安装压印模仁的压印头及其驱动装置，固化结构及控制装置；以待压印基板所在平面为x－y平面，所述工作平台与所述压印头具有x轴和y轴方向的相对平移运动自由度，所述压印模仁的驱动装置包括数控的使压印模仁绕z轴旋转的旋转运动装置和数控的z轴方向的平移运动装置，所述控制装置提供各运动装置的控制信号、固化信号，并实现压力控制。本实用新型采用了结构合理的压印模仁的驱动装置，并配合自调平机构，提高了模仁压入的平衡、均匀及其与基板表面的垂直性，使整个装置具有稳定的压力输出，避免了压印模仁的损耗。