一种钛薄膜的应用以及使用该钛薄膜的硅基光波导

    公开(公告)号:CN105954823A

    公开(公告)日:2016-09-21

    申请号:CN201610411852.9

    申请日:2016-06-14

    Inventor: 罗杰 赖耘 侯波

    CPC classification number: G02B1/113 G02B6/122

    Abstract: 本发明涉及一种钛薄膜的应用以及使用该钛薄膜的硅基光波导,钛薄膜用于减少甚至完全消除近红外波段的电磁波的反射。本发明将钛薄膜作为近红外波段的电磁波的减反膜,具有宽带(1000nm~2200nm)、宽角度、超薄的性质,同时制备简单,制备成本较低,因其超薄性可以减轻减反装置的重量,节省减反装置的成本,且携带方便;此外,要实现对不同电介质材料的减反效果,只需要调节钛薄膜的厚度即可,具有广泛的应用;另外,本发明的硅基光波导由于其端面覆盖了一层钛薄膜,大大减弱了硅基光波导端面的反射,从而使得硅基光波导中的驻波也大大变弱,大大降低了反射波对光路中其他器件的影响,确保光路体系的稳定性。

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