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实用新型
一种热释光退火装置有权转让

公开(公告)号：CN204902586U

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201520587206.9

申请日：2015-08-07

Applicant: 苏州大学卫生与环境技术研究所

Inventor： 陆宁 , 张晓露 , 沈叶丹 , 张春娟 , 杜晟威

IPC: F27B17/00 , F27D11/02 , F27D19/00 , F27D1/18

Abstract: 本实用新型涉及一种热释光退火装置，包括：炉体，所述炉体设有炉腔，所述炉腔的开口处设有上盖，其特征在于，所述炉腔内设有两个加热盘，每个所述加热盘上盘绕有若干圈加热丝，所述加热盘中间摄哟转轴，所述转轴能够驱动所述加热盘旋转，所述加热丝电连接负反馈温控电路，所述上盖上设有连通所述炉腔内的测温孔，所述加热盘可拆卸的设置在所述炉腔内。通过负反馈温控电路的控制，可以实现温度的平稳，保证在恒温状态下，炉腔内温度波动较小，使得被退火物实现较好的退火效果；测温孔的设置可以实现人为对炉腔温度的随时监测监控。

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