公开(公告)号：CN116879991A

公开(公告)日：2023-10-13

申请号：CN202310776507.5

申请日：2023-06-28

Applicant: 苏州大学

Inventor： 陈慧盈 ,  陈新华 ,  潘俏 ,  沈为民

IPC: G02B5/18

Abstract: 本发明公开了一种高衍射效率低偏振大入射角浸没光栅。它的工作波段为750～770nm，入射角#imgabs0#为71.4°,包括光栅层和等效介质层，光栅层为按周期排列刻蚀于基底上的矩形光栅结构，等效介质层为采用原子层沉积法在光栅层的光栅结构表面由厚度相等的Al2O3、TiO2、Al2O3、TiO2、Al2O3纳米膜依次叠加而成。本发明设计的浸没光栅使入射光发生全反射，无透射级次，大大提高了光栅的衍射效率。本发明设计的光栅表面覆盖的等效介质层采用原子层沉积法，能够避免光栅表面镀金属工艺中漏光的问题，进一步提高光栅的衍射效率和降低光栅偏振灵敏度，可应用于星载气体监测领域，以提高探测的精度。

公开(公告)号：CN220232009U

公开(公告)日：2023-12-22

申请号：CN202321667570.7

申请日：2023-06-28

Applicant: 苏州大学

Inventor： 陈慧盈 ,  陈新华 ,  潘俏 ,  沈为民

IPC: G02B5/18

Abstract: 本实用新型公开了一种高衍射效率低偏振全反射浸没光栅，它包括光栅层和等效介质层；所述的光栅层为按周期排列刻蚀于棱镜基底上的矩形光栅结构；等效介质层设置于光栅结构表面，由厚度相等的Al2O3纳米膜和TiO2纳米膜交替叠加；浸没光栅的入射角大于等于光栅层材料的全反射角。当入射光在光栅层所在的材料中，并以大于光栅全反射角的角度入射时，入射光会在介质层和光栅层交界处发生衍射效应从而产生衍射光。由于入射光大于光栅全反射角发生全反射，衍射光将被反射回光栅层中。本实用新型提供的浸没光栅采用了等效介质层和大入射角，使光栅实现高衍射效率和低偏振灵敏度，可应用于星载大气高光谱分辨率成像光谱仪中。