公开(公告)号：CN102410819B

公开(公告)日：2013-07-03

申请号：CN201110226010.3

申请日：2011-08-08

Applicant: 苏州大学

Inventor： 谢佩 ,  唐敏学

IPC: G01B11/25

Abstract: 本发明公开了一种测量膜基反射镜三维面形的方法。测量系统包括液晶显示器、标准平面反射镜、CCD、图像采集卡和计算机等。液晶显示器显示由计算机输入的正交正弦条纹，CCD采集被标准平面反射镜和膜基反射镜反射后的复合条纹，系统利用傅立叶变换轮廓术提取正交两方向上的相位，计算膜基反射镜引起的正交两方向的相位变化，根据梯度和相位变化之间的关系计算膜基反射镜的梯度分布，由梯度进行面形重构。本发明采用正交正弦条纹反射技术，只需分别采集标准平面反射镜和膜基反射镜反射的条纹图各一幅，即可实现膜基反射镜面形的测量。本发明测量装置简单、成本低、实时性好，能有效解决膜基反射镜三维面形测量难的问题。

公开(公告)号：CN102410819A

公开(公告)日：2012-04-11

申请号：CN201110226010.3

申请日：2011-08-08

Applicant: 苏州大学

Inventor： 谢佩 ,  唐敏学

IPC: G01B11/25

Abstract: 本发明公开了一种测量膜基反射镜三维面形的方法。测量系统包括液晶显示器、标准平面反射镜、CCD、图像采集卡和计算机等。液晶显示器显示由计算机输入的正交正弦条纹，CCD采集被标准平面反射镜和膜基反射镜反射后的复合条纹，系统利用傅立叶变换轮廓术提取正交两方向上的相位，计算膜基反射镜引起的正交两方向的相位变化，根据梯度和相位变化之间的关系计算膜基反射镜的梯度分布，由梯度进行面形重构。本发明采用正交正弦条纹反射技术，只需分别采集标准平面反射镜和膜基反射镜反射的条纹图各一幅，即可实现膜基反射镜面形的测量。本发明测量装置简单、成本低、实时性好，能有效解决膜基反射镜三维面形测量难的问题。