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公开(公告)号:CN105890543B
公开(公告)日:2019-01-08
申请号:CN201610504619.5
申请日:2016-07-01
Applicant: 苏州大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种凹柱面及柱面发散镜的检测方法及装置,涉及光学仪器检测技术领域,特别是涉及一种非接触式干涉检测柱面面形的方法,本发明的技术方案分别使用柱面汇聚镜与柱面发散镜与待测凹柱面组合,通过干涉测量分别获得柱面发散镜和待测凹柱面的组合波面误差数据以及柱面汇聚镜和待测凹柱面的组合波面误差数据,然后通过干涉测量获得柱面发散镜与柱面汇聚镜组合波面误差数据,使用差分算法以及波面复原算法分别获得待测凹柱面、柱面发散镜以及柱面汇聚镜的面形误差数据,本技术方案具有检测光路简单,不需要使用高精度的实现测量好的检具即可实现对柱面较高精度的面形检测,特别适合光学加工领域中的柱面加工。
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公开(公告)号:CN106197311A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201610504450.3
申请日:2016-07-01
Applicant: 苏州大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/24 , G01B11/2441
Abstract: 本发明公开了一种柱面及柱面汇聚镜的检测方法及装置,涉及光学仪器检测技术领域,特别是涉及一种非接触式干涉检测柱面面形的方法,本发明的技术方案使用两块能将平行光调制成柱面光波的汇聚镜分别与待测柱面组合,测试获得带有汇聚镜和待测柱面的组合波面误差数据,然后将两块柱面汇聚镜组合,获得两块柱面汇聚镜的组合波面误差数据,使用差分算法以及波面复原算法分别获得待测柱面以及两个柱面汇聚镜的面形误差数据,本技术方案具有检测光路简单,不需要使用高精度的测量好的检具即可实现对柱面较高精度的面形检测,特别适合光学加工领域中的柱面加工。
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公开(公告)号:CN105890543A
公开(公告)日:2016-08-24
申请号:CN201610504619.5
申请日:2016-07-01
Applicant: 苏州大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G01B11/24 , G01B11/2441
Abstract: 本发明公开了一种凹柱面及柱面发散镜的检测方法及装置,涉及光学仪器检测技术领域,特别是涉及一种非接触式干涉检测柱面面形的方法,本发明的技术方案分别使用柱面汇聚镜与柱面发散镜与待测凹柱面组合,通过干涉测量分别获得柱面发散镜和待测凹柱面的组合波面误差数据以及柱面汇聚镜和待测凹柱面的组合波面误差数据,然后通过干涉测量获得柱面发散镜与柱面汇聚镜组合波面误差数据,使用差分算法以及波面复原算法分别获得待测凹柱面、柱面发散镜以及柱面汇聚镜的面形误差数据,本技术方案具有检测光路简单,不需要使用高精度的实现测量好的检具即可实现对柱面较高精度的面形检测,特别适合光学加工领域中的柱面加工。
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公开(公告)号:CN105690187A
公开(公告)日:2016-06-22
申请号:CN201610083310.3
申请日:2016-02-06
Applicant: 苏州大学
IPC: B24B1/00 , B24B13/00 , B24B13/01 , B24B13/005
CPC classification number: B24B1/00 , B24B13/00 , B24B13/005 , B24B13/01
Abstract: 本发明公开了一种离轴非球面镜的加工方法,包括:①设计回转非球面母体结构;②在母体毛坯件上开挖镶嵌子体结构的通孔;③子体与母体组合成圆柱型整体工件;④加工起始球面;⑤使用轮廓仪的面形误差检测结果指导研磨,修正起始球面与回转非球面间的面形误差;⑥使用干涉仪或刀口仪的面形误差检测结果指导抛光,抛光完成取出离轴非球面子体;其特征在于:所述起始球面的口径D与整体工件的圆柱直径相等,起始球面的曲率半径R等于回转非球面母线方程中的顶点与该回转非球面母线上1.414D口径处的第一点、第二点这三点所构成三角形的外接圆的半径。本发明解决了现有技术中边缘效应的影响问题,提高了非球面加工的效率,降低了加工难度。
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公开(公告)号:CN105690187B
公开(公告)日:2018-03-27
申请号:CN201610083310.3
申请日:2016-02-06
Applicant: 苏州大学
IPC: B24B1/00 , B24B13/00 , B24B13/01 , B24B13/005
Abstract: 本发明公开了一种离轴非球面镜的加工方法,包括:①设计回转非球面母体结构;②在母体毛坯件上开挖镶嵌子体结构的通孔;③子体与母体组合成圆柱型整体工件;④加工起始球面;⑤使用轮廓仪的面形误差检测结果指导研磨,修正起始球面与回转非球面间的面形误差;⑥使用干涉仪或刀口仪的面形误差检测结果指导抛光,抛光完成取出离轴非球面子体;其特征在于:所述起始球面的口径D与整体工件的圆柱直径相等,起始球面的曲率半径R等于回转非球面母线方程中的顶点与该回转非球面母线上1.414D口径处的第一点、第二点这三点所构成三角形的外接圆的半径。本发明解决了现有技术中边缘效应的影响问题,提高了非球面加工的效率,降低了加工难度。
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公开(公告)号:CN106197311B
公开(公告)日:2018-11-27
申请号:CN201610504450.3
申请日:2016-07-01
Applicant: 苏州大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种柱面及柱面汇聚镜的检测方法及装置,涉及光学仪器检测技术领域,特别是涉及一种非接触式干涉检测柱面面形的方法,本发明的技术方案使用两块能将平行光调制成柱面光波的汇聚镜分别与待测柱面组合,测试获得带有汇聚镜和待测柱面的组合波面误差数据,然后将两块柱面汇聚镜组合,获得两块柱面汇聚镜的组合波面误差数据,使用差分算法以及波面复原算法分别获得待测柱面以及两个柱面汇聚镜的面形误差数据,本技术方案具有检测光路简单,不需要使用高精度的测量好的检具即可实现对柱面较高精度的面形检测,特别适合光学加工领域中的柱面加工。
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公开(公告)号:CN205957916U
公开(公告)日:2017-02-15
申请号:CN201620678164.4
申请日:2016-07-01
Applicant: 苏州大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本实用新型公开了一种凹柱面及柱面发散系统的装置,涉及光学仪器检测技术领域,特别是涉及一种非接触式干涉检测柱面面形的装置,本实用新型的技术方案分别使用柱面汇聚系统与柱面发散系统与待测凹柱面组合,通过干涉测量分别获得柱面发散系统和待测凹柱面的组合波面误差数据以及柱面汇聚系统和待测凹柱面的组合波面误差数据,然后通过干涉测量获得柱面发散系统与柱面汇聚系统组合波面误差数据,使用差分算法以及波面复原算法分别获得待测凹柱面、柱面发散系统以及柱面汇聚系统的面形误差数据,本技术方案具有检测光路简单,不需要使用高精度的实现测量好的检具即可实现对柱面较高精度的面形检测,特别适合光学加工领域中的柱面加工。
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