公开(公告)号：CN117963833A

公开(公告)日：2024-05-03

申请号：CN202311829302.5

申请日：2023-12-28

Applicant: 苏州大学

Inventor： 贺海东 ,  王利民 ,  王春举 ,  周兴汶 ,  陈涛 ,  孙立宁

IPC: B81C1/00 ,  B81B1/00 ,  B23P15/00 ,  C23C14/35 ,  C23C14/02 ,  C23C14/16 ,  C23C14/08 ,  C23C14/58

Abstract: 本发明公开了一种复杂曲面金属微纳结构及其制备方法及装置，所述制备方法包括以下步骤：对零部件基体待加工传感器区域进行表面预处理；进行表面微纳织构化；制备过渡薄膜层；制备绝缘层；制备金属薄膜；对制备金属薄膜后的待加工传感器区域表面的几何形状进行原位测量；在加工中对零部件位姿进行在线实时调整和补偿，采用激光‑电解复合直写加工方法对电极种子层局部区域进行去除；采用激光‑电化学沉积复合直写加工方法将微纳传感结构种子层厚度增加至微米尺度，得到微纳传感结构；在微纳传感结构表面制备保护层。本发明公开的一种复杂曲面金属微纳结构及其制备方法及装置，能够在复杂曲面实现微纳传感结构的精密制造，加工精度易控制，加工成本低且加工周期短。