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公开(公告)号：CN117926173A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202311834873.8
申请日：2023-12-28
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明属于磁传感器制备领域，具体涉及一种柔性磁传感器及其制备方法。本发明中高平整度的超薄柔性耐温聚酰亚胺基片提高了柔性磁传感器中过渡层和磁性敏感层的均匀度，从而提高了器件的探测精度。同时，超薄金属过渡层和保护层的对称设计不仅保护了磁性敏感层的空气稳定性，也降低了弯曲应力对磁性敏感层性能的影响，从而增强了器件的弯曲稳定性。器件中惠斯通电桥的设计补偿了电流变化对磁场的依赖性，抑制了共模噪声，例如温度变化和电阻波动噪声。
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