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公开(公告)号：CN117906802A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410093708.X
申请日：2024-01-23
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种MEMS压阻式三维力传感器及温度解耦方法，其中传感器包括：力传递层，设有形变区；形变区设有多个凸起单元；压阻传感器芯片，设有力检测区和温度解耦区；力检测区和温度解耦区均设有压阻悬臂梁，其中，力检测区的压阻悬臂梁的数量和凸起单元的数量相同；力检测区的压阻悬臂梁用于与凸起单元接触并检测三维力，温度解耦区的压阻悬臂梁不与凸起单元接触接触，且温度解耦区的压阻悬臂梁用于检测温度；当外力施加在传感器上时，力传递层的形变区发生形变，并将力通过凸起单元传递至力检测区的悬臂梁，力检测区压阻悬臂梁电阻发生改变，并基于温度解耦区悬臂梁信息进行温度补偿，实现三维力精准检测。本发明通过简单的数据运算，可以实现单片温度与三维力同步检测，适用于多种工作环境。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117906801B
公开(公告)日：2025-03-25
申请号：CN202410093704.1
申请日：2024-01-23
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种MEMS三维力传感器及其制备方法，其中MEMS三维力传感器包括：弹性层，包括表层、液态金属层和第一基底；液态金属层设于表层和第一基底之间，且液态金属层设有电阻丝；其中，通过控制液态金属层的相态，进而控制弹性层的杨氏模量；力传递层，包括与第一基底贴合的第二基底，第二基底设有多个微触点单元；电阻丝与第二基底连接；力敏感层，包括与第二基底贴合的第三基底，第三基底设有多个悬臂梁；其中，多个悬臂梁至少和部分微触点单元相对设置。本发明能够根据需求进行自由调整，以适应不同的力测量范围和精度需求。
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公开(公告)号：CN118830807A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202410840572.4
申请日：2024-06-27
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种具有可调力感知功能的触诊探头及触诊检测设备，包括：支撑组件和检测组件，支撑组件包括基座、外壳和第一半球，外壳罩设在基座的外侧，第一半球与基座连接；检测组件包括第二半球和感应模块，第二半球与感应模块贴合，感应模块嵌设在基座内，且第二半球与外壳抵接；感应模块包括弹性层、传递层和敏感层，弹性层和敏感层分别设置在传递层两侧，弹性层包括液态金属层，液态金属层内设置有电阻丝，电阻丝连接可变电流。本发明通过调节电阻丝的电流的大小控制液态金属相态，进而控制压敏电阻的灵敏度，最终达到触诊探头力感知功能可调的目的。既能确保高精度检测，又能实现对深层组织的大范围检测，实现一器多用，提高触诊的效率。
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公开(公告)号：CN117942132A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202410093706.0
申请日：2024-01-23
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种微创手术夹钳，包括：支架；夹钳模块，安装于支架；夹钳模块包括铰接的第一夹钳和第二夹钳；第一夹钳和第二夹钳均包括盖体和底座，盖体和底座之间安装有弹性体和柔性PCB板；感应模块，安装于第一夹钳或第二夹钳内；感应模块包括传感器芯片、力传递层和弹性层，弹性层和弹性体相对，传感器芯片和柔性PCB板电连接，力传递层粘附于柔性PCB板；当外力施加在夹钳模块上时，弹性体发生形变，并挤压弹性层，弹性层将力通过力传递层传递至传感器芯片。本发明具将灵敏度可调的MEMS三维力传感器与手术夹钳进行一体化集成，消除刚度、摩擦、重力、惯性等干扰因素的影响，将不同交互作用力直接检测出，实现手术器械灵敏度可调以及量程可调。
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公开(公告)号：CN117942132B
公开(公告)日：2025-03-04
申请号：CN202410093706.0
申请日：2024-01-23
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种微创手术夹钳，包括：支架；夹钳模块，安装于支架；夹钳模块包括铰接的第一夹钳和第二夹钳；第一夹钳和第二夹钳均包括盖体和底座，盖体和底座之间安装有弹性体和柔性PCB板；感应模块，安装于第一夹钳或第二夹钳内；感应模块包括传感器芯片、力传递层和弹性层，弹性层和弹性体相对，传感器芯片和柔性PCB板电连接，力传递层粘附于柔性PCB板；当外力施加在夹钳模块上时，弹性体发生形变，并挤压弹性层，弹性层将力通过力传递层传递至传感器芯片。本发明具将灵敏度可调的MEMS三维力传感器与手术夹钳进行一体化集成，消除刚度、摩擦、重力、惯性等干扰因素的影响，将不同交互作用力直接检测出，实现手术器械灵敏度可调以及量程可调。
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公开(公告)号：CN117906801A
公开(公告)日：2024-04-19
申请号：CN202410093704.1
申请日：2024-01-23
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明涉及一种MEMS三维力传感器及其制备方法，其中MEMS三维力传感器包括：弹性层，包括表层、液态金属层和第一基底；液态金属层设于表层和第一基底之间，且液态金属层设有电阻丝；其中，通过控制液态金属层的相态，进而控制弹性层的杨氏模量；力传递层，包括与第一基底贴合的第二基底，第二基底设有多个微触点单元；电阻丝与第二基底连接；力敏感层，包括与第二基底贴合的第三基底，第三基底设有多个悬臂梁；其中，多个悬臂梁至少和部分微触点单元相对设置。本发明能够根据需求进行自由调整，以适应不同的力测量范围和精度需求。
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