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公开(公告)号：CN108168740B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201711308033.2
申请日：2017-12-11
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种基于微液滴的全柔性无源压力传感器及其制造方法及其检测方法，基于微液滴的全柔性无源压力传感器，包括：形成感应腔室的两层导电电极，滴于感应腔室内的感测液滴，设于感应腔室两侧的传感器线圈，设于传感器线圈内的间隔层，覆盖导电电极和传感器线圈的柔性覆盖膜，感应腔室内设有供感测液滴扩展的空间。本发明在外部负载作用下，传感器的柔性覆盖膜发生弯曲形变，压迫内部的感测液滴向四周扩展，从而改变设备的电容值；将谐振频率的相应变化转换为可由外部电磁耦合线圈检测的信号，传感器具有灵敏性高，可靠重复性，高稳定性，检测方便，检测精度高的优点。
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公开(公告)号：CN111551291B
公开(公告)日：2022-04-05
申请号：CN202010449419.0
申请日：2020-05-25
Applicant: 苏州大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明涉及一种液态金属薄膜电极的制造方法及柔性压力传感器,包括：将弹性体介电层的两种组分按照比例混合，经过搅拌并除去气泡后，滴加在经表面活性剂处理的第一载体上，并进行旋涂处理；对所述第一载体进行加热，在所述弹性体介电层未完全固化时粘贴导电胶带；将液体金属喷涂在所述弹性体介电层上，形成液态金属电极，且所述液态金属电极与所述导电胶带相连；在带有液态金属电极的弹性体介电层上加入定型体，形成第一液态金属弹性体复合电极，待固化后，将所述第一液态金属弹性体复合电极从所述第一载体上分离。本发明灵敏度高，不易受外界环境干扰。
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公开(公告)号：CN111551291A
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN202010449419.0
申请日：2020-05-25
Applicant: 苏州大学
IPC: G01L1/14
Abstract: 本发明涉及一种液态金属薄膜电极的制造方法及柔性压力传感器,包括：将弹性体介电层的两种组分按照比例混合，经过搅拌并除去气泡后，滴加在经表面活性剂处理的第一载体上，并进行旋涂处理；对所述第一载体进行加热，在所述弹性体介电层未完全固化时粘贴导电胶带；将液体金属喷涂在所述弹性体介电层上，形成液态金属电极，且所述液态金属电极与所述导电胶带相连；在带有液态金属电极的弹性体介电层上加入定型体，形成第一液态金属弹性体复合电极，待固化后，将所述第一液态金属弹性体复合电极从所述第一载体上分离。本发明灵敏度高，不易受外界环境干扰。
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公开(公告)号：CN108168740A
公开(公告)日：2018-06-15
申请号：CN201711308033.2
申请日：2017-12-11
Applicant: 苏州大学
Abstract: 本发明公开了一种基于微液滴的全柔性无源压力传感器及其制造方法及其检测方法，基于微液滴的全柔性无源压力传感器，包括：形成感应腔室的两层导电电极，滴于感应腔室内的感测液滴，设于感应腔室两侧的传感器线圈，设于传感器线圈内的间隔层，覆盖导电电极和传感器线圈的柔性覆盖膜，感应腔室内设有供感测液滴扩展的空间。本发明在外部负载作用下，传感器的柔性覆盖膜发生弯曲形变，压迫内部的感测液滴向四周扩展，从而改变设备的电容值；将谐振频率的相应变化转换为可由外部电磁耦合线圈检测的信号，传感器具有灵敏性高，可靠重复性，高稳定性，检测方便，检测精度高的优点。
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