公开(公告)号：CN118707804A

公开(公告)日：2024-09-27

申请号：CN202411195937.9

申请日：2024-08-29

Applicant: 苏州大学

Inventor： 郭冉 ,  李轩 ,  陈涛 ,  唐子俊 ,  谢莹 ,  唐令高 ,  孙立宁

IPC: G03F7/00 ,  B29C33/40 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及一种低温欠压印法制备聚合物阵列纳米喷针的方法及纳米喷针；本发明结合浇注法和氧等离子体处理制备了“三明治”微米喷针模具；采用“三明治”微米喷针模具通过低温欠压印法制备了喷针纳米沟道同时采用光刻技术制备了喷针微米沟道；最后采用热键合法密封了喷针微纳米沟道，并采用湿法刻蚀方法去除掉牺牲层二氧化硅层获得针尖悬空的聚合物阵列纳米喷针。本发明公开的一种低温欠压印法制备聚合物阵列纳米喷针的方法及纳米喷针，制造的微米模具成本低廉、更易于实现；在热压的过程中，使用微米凸模具进行欠热压即可获得纳米图形；采用成本低廉的微米模具在低温下即可获得纳米图形，具有很大的市场应用价值。

公开(公告)号：CN118707804B

公开(公告)日：2024-11-29

申请号：CN202411195937.9

申请日：2024-08-29

Applicant: 苏州大学

Inventor： 郭冉 ,  李轩 ,  陈涛 ,  唐子俊 ,  谢莹 ,  唐令高 ,  孙立宁

IPC: G03F7/00 ,  B29C33/40 ,  B81C1/00

Abstract: 本发明涉及一种低温欠压印法制备聚合物阵列纳米喷针的方法及纳米喷针；本发明结合浇注法和氧等离子体处理制备了“三明治”微米喷针模具；采用“三明治”微米喷针模具通过低温欠压印法制备了喷针纳米沟道同时采用光刻技术制备了喷针微米沟道；最后采用热键合法密封了喷针微纳米沟道，并采用湿法刻蚀方法去除掉牺牲层二氧化硅层获得针尖悬空的聚合物阵列纳米喷针。本发明公开的一种低温欠压印法制备聚合物阵列纳米喷针的方法及纳米喷针，制造的微米模具成本低廉、更易于实现；在热压的过程中，使用微米凸模具进行欠热压即可获得纳米图形；采用成本低廉的微米模具在低温下即可获得纳米图形，具有很大的市场应用价值。

公开(公告)号：CN119898730A

公开(公告)日：2025-04-29

申请号：CN202510388064.1

申请日：2025-03-31

Applicant: 苏州大学

Inventor： 郭冉 ,  李轩 ,  谢莹 ,  陈涛 ,  杜一东 ,  唐子俊 ,  孙立宁

IPC: B81C1/00 ,  B81B1/00 ,  B82Y40/00 ,  B23K26/362

Abstract: 本发明公开了一种基于植物绒毛的微纳米喷针制造方法及微纳米喷针；其中的基于植物绒毛的微纳米喷针制造方法，包括以下步骤：步骤S1，采用冷冻法制备植物绒毛模具；步骤S2，采用浇注法对植物绒毛模具浇注获得基于植物绒毛的具有纳米通道的喷针模型；步骤S3，采用激光法在步骤S2获得的具有纳米通道的喷针模型上方刻蚀微米通道，获得微纳米喷针。本发明公开的一种基于植物绒毛的微纳米喷针制造方法及微纳米喷针，利用植物叶表面的绒毛，获得具有纳米通道的植物绒毛模具的方式制造微纳米喷针，具有制备工艺简单，制备成本低廉，易于大批量制造的优点。