公开(公告)号：CN1814523B

公开(公告)日：2010-05-12

申请号：CN200510121666.3

申请日：2005-12-22

Applicant: 芝浦机械电子株式会社

Inventor： 西部幸伸 ,  藤田茂树 ,  矶明典 ,  和歌月尊彦 ,  牧野勉

IPC: B65G39/02 ,  B65G49/06 ,  B08B7/04 ,  B08B1/04 ,  B08B3/04

Abstract: 本发明提供一种即使加长弯曲量也小的、用于传送基板的传送用轴。本发明的传送用轴，用于传送利用处理液进行处理的基板，该传送用轴包括：轴部(12)，具有由碳纤维形成的芯部件(13)和由对上述处理液有抗腐蚀性的合成树脂形成、包覆芯部件的外周面的外皮部件(14)；以及支承辊(6)，以预定间隔设置在该轴部的轴方向上，支承上述基板。

公开(公告)号：CN1814523A

公开(公告)日：2006-08-09

申请号：CN200510121666.3

申请日：2005-12-22

Applicant: 芝浦机械电子株式会社

Inventor： 西部幸伸 ,  藤田茂树 ,  矶明典 ,  和歌月尊彦 ,  牧野勉

IPC: B65G39/02 ,  B65G49/06 ,  B08B7/04 ,  B08B1/04 ,  B08B3/04

Abstract: 本发明提供一种即使加长弯曲量也小的、用于传送基板的传送用轴。本发明的传送用轴，用于传送利用处理液进行处理的基板，该传送用轴包括：轴部(12)，具有由碳纤维形成的芯部件(13)和由对上述处理液有抗腐蚀性的合成树脂形成、包覆芯部件的外周面的外皮部件(14)；以及支承辊(6)，以预定间隔设置在该轴部的轴方向上，支承上述基板。