公开(公告)号：CN118076464A

公开(公告)日：2024-05-24

申请号：CN202280068373.5

申请日：2022-09-06

Applicant: 芝浦机械株式会社

Inventor： 秋山贵信

IPC: B24B47/22 ,  B23Q17/22 ,  B24B27/06 ,  B24B41/04 ,  B24B49/16 ,  B24B55/02 ,  H01L21/301

Abstract: 在本发明的加工机(1)中，Z轴电动机(39)使主轴(37)往Z方向移动。Z轴位置传感器(69)检测主轴(37)在Z方向上的位置。旋转传感器(71)检测主轴(37)的旋转。当主轴(37)在旋转状态下利用工具(101)对工件(103)进行加工时，控制部(5)根据Z轴位置传感器(69)的检测值来控制Z轴电动机(39)，以使主轴(37)在Z方向上移动到达相对于规定的基准位置所设定的相对位置。在主轴(37)正在旋转的状态且主轴(37)往Z方向移动而工具(101)与工件(103)在Z方向中进行接触的状况下，当由旋转传感器(71)检测到主轴(37)的旋转停止时，控制部(5)取得Z轴位置传感器(69)所检测到的位置作为上述基准位置。

公开(公告)号：CN118765224A

公开(公告)日：2024-10-11

申请号：CN202380023642.0

申请日：2023-04-21

Applicant: 芝浦机械株式会社

Inventor： 秋山贵信

IPC: B23Q11/00 ,  B23Q1/28 ,  B23Q17/00 ,  G05B19/18

Abstract: 加工机具有主轴、主轴驱动源、移动部、支承部、线性马达、制动器及控制部。主轴驱动源让主轴旋转。移动部支承主轴及主轴驱动源。支承部将移动部支承成可沿第一方向移动。线性马达让移动部和支承部在第一方向相对移动。制动器限制移动部和支承部在第一方向上的相对移动。控制部，在调整与主轴有关的平衡时让制动器运作。

公开(公告)号：CN116194850A

公开(公告)日：2023-05-30

申请号：CN202180061352.6

申请日：2021-07-21

Applicant: 芝浦机械株式会社

Inventor： 秋山贵信 ,  福田将彦 ,  觉张胜治

IPC: G05B19/18

Abstract: 在加工机1中，X轴控制部33X在每个控制周期Tc，进行X轴机台9X的X方向上的位置的反馈控制。Z轴控制部33Z在每个控制周期Tc，取得Z轴机台9Z的Z方向的位置邻近的检测值，并基于该取得的检测值与目标位置的差算出第二偏差，控制Z轴驱动源23Z以缩小第二偏差。Z轴控制部33Z在每个控制周期Tc，取得X轴机台9的Z方向的位移即第一误差邻近的检测值，并基于第一误差的检测值增加或减少第二偏差，以通过Z轴机台9Z的Z方向的移动抵消起因于第一误差的工件103与工具101的Z方向的相对位置的误差的至少一部分。