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公开(公告)号：CN103261863A
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：CN201180058967.X
申请日：2011-11-24
Applicant: 艾伯塔大学校董事会
Inventor： 霍萨姆·穆罕默德·哈姆迪·格哈比 , 瓦伊德·艾哈迈德·穆罕默德·穆萨
CPC classification number: G01L1/2293 , G01B5/0014 , G01B7/18 , G01L1/2281 , G01L5/162 , H01L29/84
Abstract: 本文提供了一种用于构建能够提取六个应力分量和温度的应力传感接线匣的新途径，并且对其可行性进行了分析和实验验证。该途径可以包括改变传感元件的掺杂浓度并且利用n-Si中的剪切压阻系数（π44）的独特行为。
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