公开(公告)号：CN100477327C

公开(公告)日：2009-04-08

申请号：CN200510108176.X

申请日：2005-10-09

Applicant: 胜华科技股份有限公司

Inventor： 郭建忠 ,  周孚正 ,  周怡伶 ,  蔡宛真 ,  游明璋

IPC: H01L51/52 ,  H01L27/32

Abstract: 一种电极隔离壁，是在一已形成条状第一电极的基板上，形成与该第一电极垂直的电极隔离壁结构，其利用一般正型光阻材料，先以斜向曝光，再以垂直曝光的两次曝光方式显影形成该电极隔离壁。该电极隔离壁将形成一与该下底面垂直的第一侧面及一第二侧面与该基板表面形成一锐角夹角，从而形成一侧面外悬凸出的结构，这样，当后续第二电极镀膜上去时，因该上底面一侧边外悬凸出，可隔断第二电极的金属成膜于两个电极隔离壁之间，从而达到电极分隔的目的。

公开(公告)号：CN1945872A

公开(公告)日：2007-04-11

申请号：CN200510108176.X

申请日：2005-10-09

Applicant: 胜华科技股份有限公司

Inventor： 郭建忠 ,  周孚正 ,  周怡伶 ,  蔡宛真 ,  游明璋

IPC: H01L51/52 ,  H01L27/32

Abstract: 一种电极隔离壁，是在一已形成条状第一电极的基板上，形成与该第一电极垂直的电极隔离壁结构，其利用一般正型光阻材料，先以斜向曝光，再以垂直曝光的两次曝光方式显影形成该电极隔离壁。该电极隔离壁将形成一与该下底面垂直的第一侧面及一第二侧面与该基板表面形成一锐角夹角，从而形成一侧面外悬凸出的结构，这样，当后续第二电极镀膜上去时，因该上底面一侧边外悬凸出，可隔断第二电极的金属成膜于两个电极隔离壁之间，从而达到电极分隔的目的。