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公开(公告)号：CN111527386A
公开(公告)日：2020-08-11
申请号：CN201880084078.2
申请日：2018-12-26
Applicant: 美蓓亚三美株式会社
Abstract: 本发明提供一种负载传感器，其能够准确地检测施加在对象物上的按压力的负载。该负载传感器用于多轴执行器(10)，所述多轴执行器(10)具有：驱动杆(12)，其以收纳于外壳(11)的状态沿着轴线方向直线移动；及吸附杆(22)，其与驱动杆(12)平行地配置，并与驱动杆(12)同时沿着轴线方向直线移动，且当吸附芯片时，前端部(22a)被压在芯片上，负载传感器包括连结构件(30)，其用于连结驱动杆(12)与吸附杆(22)，连结构件(30)包括：第1连结部(31)，其用于连结驱动杆(12)；第2连结部(32)，其用于连结吸附杆(22)；及颈部(33)，其设置在第1连结部(31)与第2连结部(32)之间，且相对于第1连结部(31)及第2连结部(32)形成得较细，颈部(33)包括安装在其表面的应变仪(41)～(44)。
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公开(公告)号：CN111566461A
公开(公告)日：2020-08-21
申请号：CN201880084077.8
申请日：2018-12-26
Applicant: 美蓓亚三美株式会社
Abstract: 本发明提供一种负载传感器，其能够准确地检测施加于对象物的按压力的负载。该负载传感器用于多轴执行器(10)，所述多轴执行器(10)具有：驱动杆(12)，其以收纳于外壳(11)的状态沿着轴线方向直线移动；及吸附杆(22)，其与驱动杆(12)平行地配置，并与驱动杆(12)同时沿着轴线方向直线移动，且当吸附芯片时，前端部(22a)被按压在芯片上，所述负载传感器包括连结构件(30)，该连结构件(30)用于连结驱动杆(12)与吸附杆(22)，连结构件(30)以一体化状态具有第1连结部(31)及第2连结部(32)，所述第1连结部(31)连结驱动杆(12)，所述第2连结部(32)连结吸附杆(22)，第1连结部(31)具有：应变产生体部分(311)，其相对于第2连结部(32)形成得较薄，并支撑驱动杆(12)；及应变仪(41)～(44)，其安装在应变产生体部分(311)。
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公开(公告)号：CN107436207B
公开(公告)日：2020-12-11
申请号：CN201710383459.8
申请日：2017-05-26
Applicant: 美蓓亚三美株式会社
IPC: G01L5/00
Abstract: 本发明提供一种负荷检测装置(100)，具备：负荷输入部(10)，具有输入面(14)和输出面(19)；变形体(20)，具有环状部(25)和支撑部(21)，环状部(25)具备与输出面(19)的至少一部分接触的接触部(22)；一组传感器(30)，配置在环状部(25)的设有接触部(22)的面的背面，对根据输入的负荷而产生的变形进行检测；一组计算部(40)，使用该传感器(30)各自的检测结果计算一组负荷的大小；以及异常判定部(50)，对一组负荷的大小进行比较，判定传感器(30)和计算部(40)是否不存在异常。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117479883A
公开(公告)日：2024-01-30
申请号：CN202280042225.6
申请日：2022-04-27
Applicant: 美蓓亚三美株式会社
IPC: A61B5/02
Abstract: 本脉搏波传感器，具有：具备圆形开口部的应变体；和设置在所述应变体上、并以Cr混相膜为电阻体的应变计，设所述圆形开口部的直径为d[mm]、所述应变体的厚度为t[mm]时，在所述应变体的材料为SUS且d＝32的情况下，0.059≤t≤0.124，在所述材料为SUS且d＝22的情况下，0.046≤t≤0.099，在所述材料为SUS且d＝13的情况下，0.030≤t≤0.067，在所述材料为SUS且d＝7的情况下，0.026≤t≤0.034，在所述材料为铜且d＝32的情况下，0.084≤t≤0.166，在所述材料为铜且d＝22的情况下，0.066≤t≤0.132，在所述材料为铜且d＝13的情况下，0.044≤t≤0.088，在所述材料为铜且d＝7的情况下，0.032≤t≤0.050，在所述材料为铝且d＝32的情况下，0.097≤t≤0.212，在所述材料为铝且d＝22的情况下，0.079≤t≤0.168，在所述材料为铝且d＝13的情况下，0.050≤t≤0.107，在所述材料为铝且d＝7的情况下，0.038≤t≤0.063，基于与所述应变体的变形相伴的所述电阻体的电阻值的变化来检测脉搏波。
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公开(公告)号：CN114055381A
公开(公告)日：2022-02-18
申请号：CN202110757240.6
申请日：2021-07-05
IPC: B25B21/00 , B25B23/147 , G01L3/00 , B25F5/00
Abstract: 本发明提供一种能够抑制输入给放大电路的扭矩的检测信号受到噪声影响的螺丝紧固机。该螺丝紧固机具备：马达；输出轴，其由马达驱动且能够安装工具头；中空的扭转部，其借助传递元件而被传递施加于输出轴的扭矩，且利用施加于所述输出轴的扭矩而间接地被扭转；板状部，其与扭转部一体地形成；应变仪，其配置于扭转部；以及放大电路，其配置于板状部，且被输入来自应变仪的信号。
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公开(公告)号：CN111566461B
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN201880084077.8
申请日：2018-12-26
Applicant: 美蓓亚三美株式会社
Abstract: 本发明提供一种负载传感器，其能够准确地检测施加于对象物的按压力的负载。该负载传感器用于多轴执行器(10)，所述多轴执行器(10)具有：驱动杆(12)，其以收纳于外壳(11)的状态沿着轴线方向直线移动；及吸附杆(22)，其与驱动杆(12)平行地配置，并与驱动杆(12)同时沿着轴线方向直线移动，且当吸附芯片时，前端部(22a)被按压在芯片上，所述负载传感器包括连结构件(30)，该连结构件(30)用于连结驱动杆(12)与吸附杆(22)，连结构件(30)以一体化状态具有第1连结部(31)及第2连结部(32)，所述第1连结部(31)连结驱动杆(12)，所述第2连结部(32)连结吸附杆(22)，第1连结部(31)具有：应变产生体部分(311)，其相对于第2连结部(32)形成得较薄，并支撑驱动杆(12)；及应变仪(41)～(44)，其安装在应变产生体部分(311)。
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公开(公告)号：CN111527386B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201880084078.2
申请日：2018-12-26
Applicant: 美蓓亚三美株式会社
Abstract: 本发明提供一种负载传感器，其能够准确地检测施加在对象物上的按压力的负载。该负载传感器用于多轴执行器(10)，所述多轴执行器(10)具有：驱动杆(12)，其以收纳于外壳(11)的状态沿着轴线方向直线移动；及吸附杆(22)，其与驱动杆(12)平行地配置，并与驱动杆(12)同时沿着轴线方向直线移动，且当吸附芯片时，前端部(22a)被压在芯片上，负载传感器包括连结构件(30)，其用于连结驱动杆(12)与吸附杆(22)，连结构件(30)包括：第1连结部(31)，其用于连结驱动杆(12)；第2连结部(32)，其用于连结吸附杆(22)；及颈部(33)，其设置在第1连结部(31)与第2连结部(32)之间，且相对于第1连结部(31)及第2连结部(32)形成得较细，颈部(33)包括安装在其表面的应变仪(41)～(44)。
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公开(公告)号：CN107436207A
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201710383459.8
申请日：2017-05-26
IPC: G01L5/00
Abstract: 本发明提供一种负荷检测装置(100)，具备：负荷输入部(10)，具有输入面(14)和输出面(19)；变形体(20)，具有环状部(25)和支撑部(21)，环状部(25)具备与输出面(19)的至少一部分接触的接触部(22)；一组传感器(30)，配置在环状部(25)的设有接触部(22)的面的背面，对根据输入的负荷而产生的变形进行检测；一组计算部(40)，使用该传感器(30)各自的检测结果计算一组负荷的大小；以及异常判定部(50)，对一组负荷的大小进行比较，判定传感器(30)和计算部(40)是否不存在异常。
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