公开(公告)号：CN1159590A

公开(公告)日：1997-09-17

申请号：CN96108600.9

申请日：1996-06-19

Applicant: 美国电报电话IPM公司

Inventor： 恩德·H·基利安 ,  李永炯 ,  约汉·B·迈克什尼

IPC: G02B6/10

CPC classification number: G02B6/132 ,  C03B19/1453 ,  C03B2201/10 ,  C03C17/02 ,  G02B2006/12038 ,  G02B2006/12064 ,  G02B2006/12116

Abstract: 在He2/BCl3环境中烧结充分纯的SiO2层得到一种新颖的平面光波导。结果生成粘度比所沉积的二氧化硅低得多的液相。这种液体的存在改进了粘滞烧结，使固结能在比现有技术所用的温度(如1350-1500℃)低的温度(如1000-1100℃)下发生。大部分B2O3保留下不与SiO2反应，有助于烧结，起着助熔剂作用，并在固结的最后阶段经蒸汽处理除去。这种方法降低了处理温度，形成了不使基片弯曲的玻璃层而改善了平面光波导的结构和处理。