公开(公告)号：CN116981752A

公开(公告)日：2023-10-31

申请号：CN202280021021.4

申请日：2022-03-10

Applicant: 罗地亚经营管理公司

Inventor： M·普利松诺 ,  R·托特 ,  L·达朗康 ,  V·布塞特 ,  M·博多特

IPC: C09K3/14

Abstract: 本发明涉及粗糙度指数(RI)至少为5的氧化铈粒子、其制造方法、以及其在化学机械研磨应用中的用途。#imgabs0#

公开(公告)号：CN116964003A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202280021012.5

申请日：2022-03-10

Applicant: 罗地亚经营管理公司

Inventor： M·普利松诺 ,  R·托特 ,  L·达朗康 ,  V·布塞特 ,  M·博多特

IPC: C01F17/235

Abstract: 本发明涉及粗糙度指数RI至少为5的氧化铈粒子、其制造方法、以及其在化学机械研磨应用中的用途。#imgabs0#