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公开(公告)号：CN114252652A
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202111113108.8
申请日：2021-09-23
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明涉及微机械结构及微机械传感器，该微机械结构具有衬底和可相对于衬底运动的震动质量及探测装置和主弹簧。震动质量借助主弹簧与衬底连接。第一方向和垂直于此的第二方向定义衬底主延伸平面。探测装置设置为探测震动质量偏移并具有固定在震动质量上的第一电极和固定在衬底上的第二电极。第一和第二电极在第一和第二方向上具有二维延伸。微机械结构还具有交错的止挡结构，其具有第一、第二弹簧止挡和固定止挡。止挡结构如此构型，使得在震动质量的至少一部分在垂直于第一和第二方向的第三方向上运动超出运行范围时第一弹簧止挡首先机械接触，在进一步运动时第二弹簧止挡随后机械接触，在进一步运动时固定止挡随后机械接触。
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公开(公告)号：CN111735986B
公开(公告)日：2024-05-14
申请号：CN202010073760.0
申请日：2020-01-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/02 , G01P15/097 , G01C21/16 , B81C1/00 , B81B7/02
Abstract: 微机械惯性传感器(100)，具有：‑衬底；和‑附接到所述衬底上的振动质量(10)，该振动质量这样构造，使得所述振动质量在第一笛卡尔坐标方向(z；x)上具有约1g的低g加速度的探测能力；其中，‑所述振动质量(10)还构造成，使得所述振动质量在至少一个第二笛卡尔坐标方向(x、y；z)上具有至少约100g的高g加速度的探测能力。
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公开(公告)号：CN103091510A
公开(公告)日：2013-05-08
申请号：CN201210410337.0
申请日：2012-10-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00
CPC classification number: G01P15/125 , B81B3/0072 , B81B2201/025 , G01P15/18 , G01P2015/0805 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明涉及一种微机械器件（101，301，401），包括：衬底（102）；振动质量（103），其在第一悬架（105）上与衬底（102）连接；至少一个第一电极（117），用于检测振动质量（103）在第一方向上的运动，其中第一电极（117）在第二悬架（109）上与衬底（102）连接；至少一个第二电极（127；127a；127b），用于检测振动质量（103）在不同于第一方向的第二方向上的运动，其中第二电极（127；127a；127b）在第三悬架（125）上与衬底（102）连接，本发明规定，第一电极（117）借助支承臂（111）与第二悬架（109）机械连接并且与第二悬架（109）隔开间距地设置。本发明还涉及一种用于制造微机械器件的方法。
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公开(公告)号：CN105182002A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510312258.X
申请日：2015-06-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Inventor： G-N-C·乌尔希里 , L·特布耶
IPC: G01P15/125 , G01P15/18
CPC classification number: G01P15/097 , G01P15/125 , G01P2015/0831
Abstract: 本发明涉及微机械加速度传感器，包括：衬底；第一振动质量，其能够运动地悬置在衬底上并且在沿第一方向作用到衬底上的加速度的情况下可偏转；第一探测单元，用于探测在沿第一方向作用到衬底上的加速度的情况下第一振动质量的偏转；第二振动质量，其能够运动地悬置在衬底上并且在沿第二方向作用到衬底上的加速度的情况下可偏转，第二方向与第一方向垂直；第二探测单元，用于探测在沿第二方向作用到衬底上的加速度的情况下第二振动质量的偏转；第二振动质量还在沿第三方向作用到衬底上的加速度的情况下能够偏转，第三方向与第一方向和第二方向垂直；第三探测单元，用于探测在沿第三方向作用到衬底上的加速度的情况下第二振动质量的偏转。
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公开(公告)号：CN103420321A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310176308.7
申请日：2013-05-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81B3/0075 , B81C1/00626 , B81C1/00674 , B81C2201/0112 , B81C2201/014 , B81C2203/0109
Abstract: 本发明涉及混合集成的构件和用于其制造的方法。本发明提出一种措施，通过该措施明显提高在实现构件（100）的MEMS结构元件（10）的微机械结构时的设计自由度，所述构件包括用于MEMS结构元件（10）的载体（20）和用于MEMS结构元件（10）的微机械结构的盖（30），其中，所述MEMS结构元件（10）通过托脚结构（21）装配在载体（20）上。根据本发明，所述MEMS结构元件（10）以层结构的形式实现并且所述MEMS结构元件（10）的微机械结构（11）延伸经过该层结构的至少两个功能层（3，5），所述至少两个功能层通过至少一个中间层（4）相互分开。
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公开(公告)号：CN111735986A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010073760.0
申请日：2020-01-22
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/02 , G01P15/097 , G01C21/16 , B81C1/00 , B81B7/02
Abstract: 微机械惯性传感器(100)，具有：-衬底；和-附接到所述衬底上的振动质量(10)，该振动质量这样构造，使得所述振动质量在第一笛卡尔坐标方向(z；x)上具有约1g的低g加速度的探测能力；其中，-所述振动质量(10)还构造成，使得所述振动质量在至少一个第二笛卡尔坐标方向(x、y；z)上具有至少约100g的高g加速度的探测能力。
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公开(公告)号：CN103420321B
公开(公告)日：2017-05-10
申请号：CN201310176308.7
申请日：2013-05-14
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: B81B3/0075 , B81C1/00626 , B81C1/00674 , B81C2201/0112 , B81C2201/014 , B81C2203/0109
Abstract: 本发明涉及混合集成的构件和用于其制造的方法。本发明提出一种措施，通过该措施明显提高在实现构件（100）的MEMS结构元件（10）的微机械结构时的设计自由度，所述构件包括用于MEMS结构元件（10）的载体（20）和用于MEMS结构元件（10）的微机械结构的盖（30），其中，所述MEMS结构元件（10）通过托脚结构（21）装配在载体（20）上。根据本发明，所述MEMS结构元件（10）以层结构的形式实现并且所述MEMS结构元件（10）的微机械结构（11）延伸经过该层结构的至少两个功能层（3，5），所述至少两个功能层通过至少一个中间层（4）相互分开。
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公开(公告)号：CN103091510B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201210410337.0
申请日：2012-10-24
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G01P15/125 , B81B3/00 , B81B7/02 , B81C1/00
CPC classification number: G01P15/125 , B81B3/0072 , B81B2201/025 , G01P15/18 , G01P2015/0805 , Y10T29/49155
Abstract: 本发明涉及一种微机械器件（101，301，401），包括：衬底（102）；振动质量（103），其在第一悬架（105）上与衬底（102）连接；至少一个第一电极（117），用于检测振动质量（103）在第一方向上的运动，其中第一电极（117）在第二悬架（109）上与衬底（102）连接；至少一个第二电极（127；127a；127b），用于检测振动质量（103）在不同于第一方向的第二方向上的运动，其中第二电极127；127a；127b）在第三悬架（125）上与衬底102）连接，本发明规定，第一电极（117）借助支承臂（111）与第二悬架（109）机械连接并且与第二悬架（109）隔开间距地设置。本发明还涉及一种用于制造微机械器件的方法。
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