传感器装置和用于制造传感器装置的方法

    公开(公告)号:CN102272569A

    公开(公告)日:2011-12-07

    申请号:CN200980154124.2

    申请日:2009-11-25

    CPC classification number: G01L19/147

    Abstract: 传感器装置,尤其是压力传感器装置,包括一个具有主延伸平面的衬底和一个基本上平行于主延伸平面定向的传感器元件,其中,衬底包括陶瓷材料,所述衬底具有至少一个印制导线并且所述传感器元件在第一接触区域中借助倒装芯片技术与所述至少一个印制导线导电地连接,其中,所述传感器元件还在第二接触区域中与衬底机械地连接,其中,在第二接触区域中设置有一阳极键合连接部。

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