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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111721412A
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN202010201457.4
申请日：2020-03-20
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种干涉仪装置，包括：第一反射镜装置和第二反射镜装置；边缘结构，其中，第一反射镜装置和第二反射镜装置分别固定在所述边缘结构上并且所述边缘结构至少部分在横向在它的边缘区域上围绕第一反射镜装置和第二反射镜装置；其中，第一反射镜装置和第二反射镜装置彼此间隔第一间距布置，并且第一和/或第二反射镜装置在分别在横向处在边缘结构中的横向的内部区域中跨越空置的区域并且在这个空置的区域中能关于另一个反射镜装置运动，因此第一间距尤其能通过驱动改变；和多个刻蚀入口，刻蚀入口延伸穿过第一反射镜装置和/或穿过第二反射镜装置地进入空置的区域。
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公开(公告)号：CN111913242A
公开(公告)日：2020-11-10
申请号：CN202010382272.8
申请日：2020-05-08
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明涉及一种带有至少一个布拉格反射器（10）的装置，该布拉格反射器（10）构造带有高折射的第一层（12）和高折射的第二层（14）、至少一个布置在高折射的第一层（12）和高折射的第二层（14）之间的支撑结构（16）和至少一个与至少一个支撑结构（16）相邻地处在高折射的第一层（12）和高折射的第二层（14）之间的低折射的间隙（18），其中，借助于高折射的第一层（12）、高折射的第二层（14）和至少一个低折射的间隙（18）的垂直于布拉格反射器（10）的光入射面（20）定向的光学的路径长度（LH1、LH2和LL）确定布拉格反射器（10）的中心波长λ0，并且其中，至少一个支撑结构（16）分别具有垂直于布拉格反射器（10）的光入射面（20）定向的光学的路径长度Lsup，针对该光学的路径长度适用如下方程式：其中，m是大于等于1的自然数。
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公开(公告)号：CN110031963A
公开(公告)日：2019-07-19
申请号：CN201910022738.0
申请日：2019-01-10
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: G02B26/00
Abstract: 本发明涉及用于运行可调的光学谐振器的方法和设备以及光学谐振器。本发明涉及一种用于运行可调的光学谐振器（100）的方法（300），其中光学谐振器具有：第一镜面元件（102）；在镜面距离方面能相对于第一镜面元件移动地布置的第二镜面元件（104）；被分配给第一镜面元件的第一电极（106）；和被分配给第二镜面元件的第二电极（112）。第二电极与第一电极对置地来布置，其中通过向第一电极施加交变电位，第二镜面元件能偏移。在该方法中，首先将用于改变镜面距离的驱动交变电位与用于探测镜面距离的探测交变电位叠加，以便获得交变电位。量取附在第二电极上的电极电位。最后，在使用交变电位和电极电位的情况下产生表示镜面距离的距离信号。
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公开(公告)号：CN111232912A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201911181056.0
申请日：2019-11-27
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明提供微机械构件（2）的执行装置（1），包括：悬挂架（3）；具有弹簧材料（FM）的多个弯曲梁（4），其中弯曲梁（4）分别与悬挂架（3）机械连接并且横向地从该悬挂架延伸出去；多个致动装置（4a），其中致动装置（4a）与弯曲梁（4）机械连接；环形元件（5）或者框架元件，环形元件或者框架元件与弯曲梁（4）机械连接，并且与悬挂架（3）横向地间隔开，并且具有比所述弯曲梁（4）小的可弯曲性；多个弹簧元件（6），所述弹簧元件与所述环形元件（5）机械连接并且从在背离所述悬挂架（3）的侧上从所述环形元件（5）横向地延伸出去；以及待移动的中央段（7），其中弹簧元件（6）使中央段（7）与环形元件（5）机械连接。
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公开(公告)号：CN110702224A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201910614893.1
申请日：2019-07-09
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
Abstract: 本发明提供一种法布里-珀罗干涉仪-单元，该法布里-珀罗干涉仪-单元包括：载体基板；第一反射镜元件和第二反射镜元件，所述第一反射镜元件和所述第二反射镜元件上下叠放地布置在所述载体基板上并且彼此隔开，并且所述第一反射镜元件和所述第二反射镜元件分别包括电介质的布拉格反射镜，其中所述第一反射镜元件和所述第二反射镜元件：包括外部区域，所述外部区域侧向地在所述贯通开口的外部与其邻接并且没有与所述载体基板机械接触；并且包括悬挂区域，所述悬挂区域侧向地在所述外部区域的外部与其邻接并且与所述载体基板处于机械的接触之中，其中所述外部区域和/或所述悬挂区域包括具有与第一和第二反射镜层在所述贯通开口的区域中不同的张紧状态的材料。
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