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公开(公告)号：CN101946410A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200880126943.1
申请日：2008-11-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H03H9/46
CPC classification number: H03B5/30 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H9/505 , H03H2009/0233 , H03H2009/02385 , H03H2009/0244 , H03H2009/02503
Abstract: 布置成N×M MEMS阵列结构的谐振器包括由弯曲/圆角部分连接的基本平直延伸的梁部分，并经由耦合部分机械耦合到阵列的至少一个相邻谐振器，每个细长梁部分经由弯曲/圆角部分在远端连接到另一细长梁部分，形成几何形状，耦合部分设置于相邻谐振器的细长梁部分之间。在被诱发时，谐振器在组合的伸长/呼吸和弯曲模式下以基本相同的频率振动，(即，梁部分表现出像伸长/呼吸那样和像弯曲那样的运动)。一个或多个阵列结构的谐振器可以在结构的弯曲部分的一个或多个区域中包括一个或多个节点(即，基本静止和/或几乎不运动)，这些是将谐振器/阵列锚定到基底的适当和/或优选位置。
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公开(公告)号：CN101223691A
公开(公告)日：2008-07-16
申请号：CN200680026110.9
申请日：2006-05-03
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: H03H9/2431 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/02448 , H03H9/2405 , H03H2009/02354 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511 , H03H2009/02527
Abstract: 一种微机械谐振器结构，包括由弯曲或圆角部分连接的多个直的或基本上直的梁部分。每个细长的梁部分在其一端经由弯曲或圆角部分连接到另一细长的梁部分，从而形成具有经由弯曲或圆角部分相互连接的至少两个细长的梁部分的几何形状(例如，圆三角形形状、圆正方形或矩形形状)。所述结构包括在所述结构的弯曲部分的一个或多个部分或区域中的一个或多个节点或区域(即，在谐振器结构震荡期间，谐振器结构的静止的、几乎不经历运动、和/或基本静止的部分)。所述节点将谐振器结构锚定到基板的合适和/或优选的位置。在操作中，谐振器结构以伸长(或呼吸)模式和弯曲模式的组合方式振荡；也就是说，梁部分(其以相同频率振荡或振动)呈现伸长状(或呼吸状)运动和弯曲状运动。
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公开(公告)号：CN101946400A
公开(公告)日：2011-01-12
申请号：CN200880127024.6
申请日：2008-11-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: H03H9/02244 , B81B3/007 , B81B3/0072 , B81B2201/0271 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , H03H3/0076 , H03H9/02338 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503
Abstract: 本发明提供一种微机电谐振器，所述微机电谐振器可以包括以体模式振动并且包括分别具有密度的第一多个区域以及分别具有密度的第二多个区域的一个或者多个谐振器块，所述第二多个区域中的每一个区域的所述密度与所述第一多个区域中的每一个区域的所述密度不同。可以将所述第二多个区域设置成非均匀结构。所述振动可以包括第一状态，在所述第一状态下，所述谐振器块至少部分沿第一和/或第二方向收缩，并且至少部分沿第三和/或第四方向膨胀，所述第二方向与所述第一方向相反，所述第四方向与所述第三方向相反。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101946410B
公开(公告)日：2014-07-23
申请号：CN200880126943.1
申请日：2008-11-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
IPC: H03H9/46
CPC classification number: H03B5/30 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/2405 , H03H9/2447 , H03H9/505 , H03H2009/0233 , H03H2009/02385 , H03H2009/0244 , H03H2009/02503
Abstract: 布置成N×M MEMS阵列结构的谐振器包括由弯曲/圆角部分连接的基本平直延伸的梁部分，并经由耦合部分机械耦合到阵列的至少一个相邻谐振器，每个细长梁部分经由弯曲/圆角部分在远端连接到另一细长梁部分，形成几何形状，耦合部分设置于相邻谐振器的细长梁部分之间。在被诱发时，谐振器在组合的伸长/呼吸和弯曲模式下以基本相同的频率振动，(即，梁部分表现出像伸长/呼吸那样和像弯曲那样的运动)。一个或多个阵列结构的谐振器可以在结构的弯曲部分的一个或多个区域中包括一个或多个节点(即，基本静止和/或几乎不运动)，这些是将谐振器/阵列锚定到基底的适当和/或优选位置。
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公开(公告)号：CN101253685B
公开(公告)日：2010-12-15
申请号：CN200680031499.6
申请日：2006-05-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: H03H9/2405 , H03H3/0076 , H03H9/02338 , H03H9/02448 , H03H9/2431 , H03H9/462 , H03H9/505 , H03H2009/02354 , H03H2009/0244 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511 , H03H2009/02527
Abstract: 以机械方式耦合的MEMS谐振器102a、b、c、d被安排成N×M阵列。每个谐振器都包括拉长梁段106a、b、c、d。每个拉长梁段都通过弯曲段108a、b、c、d在末端连接到另一个拉长梁段，从而形成一个几何形状(例如圆角正方形)。每个谐振器都通过谐振器耦合段104耦合到阵列的至少一个其它相邻谐振器，这个谐振器耦合段104可能布置在相邻谐振器的拉长梁段之间。这些谐振器按照组合的拉长(或呼吸)模式和弯折模式以相同的频率振荡。阵列的谐振器可以包括弯曲段中的波节点114(也就是在谐振器的振荡过程中，谐振器静止的部分)。这些波节点最好是锚定谐振器的位置。
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公开(公告)号：CN101223691B
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200680026110.9
申请日：2006-05-03
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: H03H9/2431 , H03H9/02259 , H03H9/02338 , H03H9/02448 , H03H9/2405 , H03H2009/02354 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511 , H03H2009/02527
Abstract: 一种微机械谐振器结构，包括由弯曲或圆角部分连接的多个直的或基本上直的梁部分。每个细长的梁部分在其一端经由弯曲或圆角部分连接到另一细长的梁部分，从而形成具有经由弯曲或圆角部分相互连接的至少两个细长的梁部分的几何形状(例如，圆三角形形状、圆正方形或矩形形状)。所述结构包括在所述结构的弯曲部分的一个或多个部分或区域中的一个或多个节点或区域(即，在谐振器结构震荡期间，谐振器结构的静止的、几乎不经历运动、和/或基本静止的部分)。所述节点将谐振器结构锚定到基板的合适和/或优选的位置。在操作中，谐振器结构以伸长(或呼吸)模式和弯曲模式的组合方式振荡；也就是说，梁部分(其以相同频率振荡或振动)呈现伸长状(或呼吸状)运动和弯曲状运动。
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公开(公告)号：CN101946400B
公开(公告)日：2014-10-01
申请号：CN200880127024.6
申请日：2008-11-26
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: H03H9/02244 , B81B3/007 , B81B3/0072 , B81B2201/0271 , B81B2203/0109 , B81B2203/0163 , H03H3/0076 , H03H9/02338 , H03H2009/0233 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503
Abstract: 本发明提供一种微机电谐振器，所述微机电谐振器可以包括以体模式振动并且包括分别具有密度的第一多个区域以及分别具有密度的第二多个区域的一个或者多个谐振器块，所述第二多个区域中的每一个区域的所述密度与所述第一多个区域中的每一个区域的所述密度不同。可以将所述第二多个区域设置成非均匀结构。所述振动可以包括第一状态，在所述第一状态下，所述谐振器块至少部分沿第一和/或第二方向收缩，并且至少部分沿第三和/或第四方向膨胀，所述第二方向与所述第一方向相反，所述第四方向与所述第三方向相反。
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公开(公告)号：CN101253685A
公开(公告)日：2008-08-27
申请号：CN200680031499.6
申请日：2006-05-19
Applicant: 罗伯特·博世有限公司
CPC classification number: H03H9/2405 , H03H3/0076 , H03H9/02338 , H03H9/02448 , H03H9/2431 , H03H9/462 , H03H9/505 , H03H2009/02354 , H03H2009/0244 , H03H2009/02496 , H03H2009/02503 , H03H2009/02511 , H03H2009/02527
Abstract: 以机械方式耦合的MEMS谐振器102a、b、c、d被安排成N×M阵列。每个谐振器都包括拉长梁段106a、b、c、d。每个拉长梁段都通过弯曲段108a、b、c、d在末端连接到另一个拉长梁段，从而形成一个几何形状(例如圆角正方形)。每个谐振器都通过谐振器耦合段104耦合到阵列的至少一个其它相邻谐振器，这个谐振器耦合段104可能布置在相邻谐振器的拉长梁段之间。这些谐振器按照组合的拉长(或呼吸)模式和弯折模式以相同的频率振荡。阵列的谐振器可以包括弯曲段中的波节点114(也就是在谐振器的振荡过程中，谐振器静止的部分)。这些波节点最好是锚定谐振器的位置。
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